화상 표시 장치의 제조 방법 및 화상 표시 장치(METHOD FOR MANUFACTURING IMAGE DISPLAY AND IMAGE DISPLAY)

(19)대한민국특허청(KR)
(12) 공개특허공보(A)

(51) 。Int. Cl.
H01J 9/24 (2006.01)
H01J 9/22 (2006.01)
H01J 31/12 (2006.01)
H01J 1/30 (2006.01)
H01J 9/22 (2006.01)
H01J 31/12 (2006.01)
(11) 공개번호
(43) 공개일자
10-2007-0049180
2007년05월10일
(21) 출원번호 10-2007-7004609
(22) 출원일자 2007년02월27일
심사청구일자 2007년02월27일
번역문 제출일자 2007년02월27일
(86) 국제출원번호 PCT/JP2005/014747 (87) 국제공개번호 WO 2006/019033
국제출원일자 2005년08월11일 국제공개일자 2006년02월23일
(30) 우선권주장 JP-P-2004-00236625 2004년08월16일 일본(JP)
(71) 출원인 가부시끼가이샤 도시바
일본국 도꾜도 미나또꾸 시바우라 1쪼메 1방 1고
(72) 발명자 이시까와 사또시
일본 105-8001 도꾜도 미나또꾸 시바우라 1쪼메 1방 1고가부시끼가이
샤 도시바 지떼끼자이산부 내
히라하라 사찌꼬
일본 105-8001 도꾜도 미나또꾸 시바우라 1쪼메 1방 1고가부시끼가이
샤 도시바 지떼끼자이산부 내
히로사와 다이지
일본 105-8001 도꾜도 미나또꾸 시바우라 1쪼메 1방 1고가부시끼가이
샤 도시바 지떼끼자이산부 내
(74) 대리인 장수길
성재동
전체 청구항 수 : 총 15 항
(54) 화상 표시 장치의 제조 방법 및 화상 표시 장치
(57) 요약
화상 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 복수의 바닥이 있는 스페이서 형성 구멍(40)을 가진 성형형(36)을 준비하고, 성형형
의 각 스페이서 형성 구멍에 유리를 주성분으로 하는 스페이서 형성 재료를 충전한다. 스페이서 형성 재료(46)가 충전된
성형형을, 그 스페이서 형성 구멍이 제1 기판을 구성하는 유리 기판(10)에 대향한 상태에서, 유리 기판에 밀착시켜 스페이
서 형성 재료를 경화시킨 후, 스페이서 형성 재료를 유리 기판 상에 남기면서 성형형을 분리한다.
공개특허 10-2007-0049180
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상기 방법에 의해, 접착제를 이용하지 않고 복수의 스페이서를 용이하게 또한 높은 위치 정밀도로 마련되는 것이 가능해지
고, 양산화 및 제조 비용의 저감이 가능한 화상 표시 장치를 얻을 수 있다.
대표도
도 6
특허청구의 범위
청구항 1.
형광체층 및 차광층을 포함하는 형광면이 형성된 제1 기판과, 상기 제1 기판과 간극을 두고 대향 배치되어 있는 동시에 상
기 형광면을 여기하는 복수의 전자 방출원이 마련된 제2 기판과, 상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 마련되고 상기 제1 및
제2 기판에 작용하는 대기압 하중을 지지하는 복수의 스페이서를 구비한 화상 표시 장치의 제조 방법이며,
복수의 바닥이 있는 스페이서 형성 구멍을 가진 성형형을 준비하고,
상기 성형형의 각 스페이서 형성 구멍에 유리를 주성분으로 하는 스페이서 형성 재료를 충전하고,
상기 스페이서 형성 재료가 충전된 성형형을, 그 스페이서 형성 구멍이 상기 제1 기판을 구성하는 유리 기판에 대향한 상
태에서 상기 유리 기판에 밀착시키고,
상기 성형형을 상기 유리 기판에 밀착시킨 상태에서 상기 스페이서 형성 재료를 경화시킨 후, 상기 스페이서 형성 재료를
유리 기판 상에 남기면서 상기 성형형을 분리하고,
상기 유리 기판 상의 스페이서 형성 재료를 소성하여 유리화하여, 각각 상기 유리 기판에 고정 부착된 복수의 스페이서를
형성하는 화상 표시 장치의 제조 방법.
청구항 2.
제1항에 있어서, 상기 스페이서가 형성된 제1 기판의 표면에, 잉크젯에 의해 차광층 및 형광체층을 형성하는 화상 표시 장
치의 제조 방법.
청구항 3.
제2항에 있어서, 상기 스페이서를 마스크로 피복한 후, 상기 차광층 및 형광체층 중 적어도 일부에 겹쳐 메탈백을 성막하
는 화상 표시 장치의 제조 방법.
청구항 4.
제3항에 있어서, 상기 차광층, 형광체층 및 메탈백 중 적어도 일부에 겹쳐 게터막을 형성하고, 그 후에 상기 스페이서의 마
스크를 제거하는 화상 표시 장치의 제조 방법.
청구항 5.
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형광체층 및 차광층을 포함하는 형광면이 형성된 제1 기판과, 상기 제1 기판과 간극을 두고 대향 배치되어 있는 동시에 상
기 형광면을 여기하는 복수의 전자 방출원이 마련된 제2 기판과, 상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 마련되고 상기 제1 및
제2 기판에 작용하는 대기압 하중을 지지하는 복수의 스페이서를 구비한 화상 표시 장치의 제조 방법이며,
복수의 바닥이 있는 스페이서 형성 구멍을 가진 성형형과, 상기 형광면이 형성된 제1 기판을 준비하고,
상기 성형형의 각 스페이서 형성 구멍에 유리를 주성분으로 하는 스페이서 형성 재료를 충전하고,
상기 스페이서 형성 재료가 충전된 성형형을, 그 스페이서 형성 구멍이 상기 제1 기판의 차광층과 대향한 상태에서 상기
제1 기판에 밀착시키고,
상기 성형형을 상기 제1 기판에 밀착시킨 상태에서 상기 스페이서 형성 재료를 경화시킨 후, 상기 스페이서 형성 재료를
제1 기판 상에 남기면서 상기 성형형을 분리하고,
상기 제1 기판 상의 스페이서 형성 재료를 소성하여 유리화하여, 각각 상기 차광층 상에 고정 부착된 복수의 스페이서를
형성하는 화상 표시 장치의 제조 방법.
청구항 6.
제5항에 있어서, 상기 스페이서를 마스크로 피복한 후, 상기 형광면 중 적어도 일부에 겹쳐 메탈백을 성막하는 화상 표시
장치의 제조 방법.
청구항 7.
제6항에 있어서, 상기 차광층, 형광층 및 메탈백 중 적어도 일부에 겹쳐 게터막을 형성하고, 그 후에 상기 스페이서의 마스
크를 제거하는 화상 표시 장치의 제조 방법.
청구항 8.
형광체층 및 차광층을 포함하는 형광면이 형성된 제1 기판과, 상기 제1 기판과 간극을 두고 대향 배치되어 있는 동시에 상
기 형광면을 여기하는 복수의 전자 방출원이 마련된 제2 기판과, 상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 마련되고 상기 제1 및
제2 기판에 작용하는 대기압 하중을 지지하는 복수의 스페이서를 구비한 화상 표시 장치의 제조 방법이며,
복수의 바닥이 있는 스페이서 형성 구멍을 가진 성형형과, 상기 형광면이 형성된 제1 기판을 준비하고,
상기 제1 기판의 형광면에 겹쳐 메탈백을 성막하고,
상기 성형형의 각 스페이서 형성 구멍에 유리를 주성분으로 하는 스페이서 형성 재료를 충전하고,
상기 스페이서 형성 재료가 충전된 성형형을, 그 스페이서 형성 구멍이 상기 제1 기판의 형광면과 대향한 상태에서 상기
제1 기판에 밀착시키고,
상기 성형형을 상기 제1 기판에 밀착시킨 상태에서 상기 스페이서 형성 재료를 경화시킨 후, 상기 스페이서 형성 재료를
제1 기판 상에 남기면서 상기 성형형을 분리하고,
상기 제1 기판 상의 스페이서 형성 재료를 소성하여 유리화하여, 각각 상기 메탈백 상에 고정 부착된 복수의 스페이서를
형성하는 화상 표시 장치의 제조 방법.
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청구항 9.
제8항에 있어서, 상기 스페이서를 마스크로 피복한 후, 상기 차광층, 형광체층 및 메탈백 중 적어도 일부에 겹쳐 게터막을
형성하고, 그 후에 상기 스페이서의 마스크를 제거하는 화상 표시 장치의 제조 방법.
청구항 10.
형광체층 및 차광층을 포함하는 형광면이 형성된 제1 기판과,
상기 제1 기판과 간극을 두고 대향 배치되어 있는 동시에 상기 형광면을 여기하는 복수의 전자 방출원이 마련된 제2 기판
과,
상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 마련되고 상기 제1 및 제2 기판에 작용하는 대기압 하중을 지지하는 복수의 스페이서를
구비하고,
상기 복수의 스페이서는 유리를 주성분으로 하는 스페이서 형성 재료를 소성하여 유리화함으로써 상기 제1 기판의 내면에
직접 고정 부착하여 형성되어 있는 화상 표시 장치.
청구항 11.
제10항에 있어서, 상기 형광면은 상기 복수의 스페이서 사이에서 상기 제1 기판의 내면 상에 설치되어 있는 화상 표시 장
치.
청구항 12.
제11항에 있어서, 상기 복수의 스페이서 사이에서 상기 형광면에 겹쳐 마련된 메탈백을 구비하고 있는 화상 표시 장치.
청구항 13.
형광체층 및 차광층을 포함하는 형광면이 형성된 제1 기판과,
상기 제1 기판과 간극을 두고 대향 배치되어 있는 동시에 상기 형광면을 여기하는 복수의 전자 방출원이 마련된 제2 기판
과,
상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 마련되고 상기 제1 및 제2 기판에 작용하는 대기압 하중을 지지하는 복수의 스페이서를
구비하고,
상기 복수의 스페이서는, 유리를 주성분으로 하는 스페이서 형성 재료를 소성하여 유리화함으로써 상기 제1 기판의 차광
층 상에 직접 고정 부착하여 형성되어 있는 화상 표시 장치.
청구항 14.
제13항에 있어서, 상기 복수의 스페이서 사이에서 상기 형광면에 겹쳐 마련된 메탈백을 구비하고 있는 화상 표시 장치.
청구항 15.
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형광체층 및 차광층을 포함하는 형광면과, 상기 형광면에 겹쳐 형성된 메탈백이 마련된 제1 기판과,
상기 제1 기판과 간극을 두고 대향 배치되어 있는 동시에 상기 형광면을 여기하는 복수의 전자 방출원이 마련된 제2 기판
과,
상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 마련되고 상기 제1 및 제2 기판에 작용하는 대기압 하중을 지지하는 복수의 스페이서를
구비하고,
상기 복수의 스페이서는, 유리를 주성분으로 하는 스페이서 형성 재료를 소성하여 유리화함으로써 상기 제1 기판의 메탈
백 상에 직접 고정 부착하여 형성되어 있는 화상 표시 장치.
명세서
기술분야
본 발명은 대향 배치된 기판과, 기판 사이에 배치된 스페이서를 구비한 화상 표시 장치의 제조 방법 및 화상 표시 장치에
관한 것이다.
배경기술
최근, 음극선관(이하, CRT라 칭함)을 대신하는 차세대의 경량 및 박형의 표시 장치로서 다양한 평면형의 화상 표시 장치
가 주목되어 있다. 예를 들어, 평면 표시 장치로서 기능하는 필드ㆍ에미션ㆍ디바이스(이하, FED라 칭함)의 일종으로서, 표
면 전도형 전자 방출 장치(이하, SED라 칭함)의 개발이 진행되고 있다.
이 SED는 소정의 간격을 두고 대향 배치된 제1 기판 및 제2 기판을 구비하고, 이러한 기판은 직사각 형상의 측벽을 거쳐서
주변부를 서로 접합함으로써 진공 케이싱을 구성하고 있다. 제1 기판의 내면에는 3색의 형광체층 및 메탈백층이 형성되
고, 제2 기판의 내면에는 형광체를 여기하는 전자원으로서, 각 화소에 대응하는 다수의 전자 방출 소자가 배열되어 있다.
각 전자 방출 소자는 전자 방출부, 이 전자 방출부에 전압을 인가하는 한 쌍의 전극 등으로 구성되어 있다.
상기한 바와 같은 SED에 있어서, 제1 기판 및 제2 기판 사이의 공간, 즉 진공 케이싱 내는 10-4 ㎩ 정도의 높은 진공도로
유지되는 것이 중요해진다. 진공도가 낮을 경우, 전자 방출 소자의 수명, 나아가서는 장치의 수명이 저하되어 버린다. 또
한, 제1 기판과 제2 기판 사이는 진공이므로, 제1 기판 및 제2 기판에 대해 대기압이 작용된다. 그리고, 이러한 기판에 작
용하는 대기압 하중을 지지하고 기판 사이의 간극을 유지하기 위해, 양쪽 기판 사이에는 다수의 판 형상 혹은 기둥 형상의
스페이서가 배치되어 있다.
스페이서를 제1 기판 및 제2 기판의 전체면에 걸쳐 배치하기 위해서는, 제1 기판의 형광체, 제2 기판의 전자 방출 소자에
접촉하지 않도록, 매우 얇은 판 형상, 혹은 매우 가는 기둥 형상의 스페이서가 필요해진다. 이러한 스페이서는 전자 방출
소자가 매우 가깝게 설치하지 않을 수 없으므로, 스페이서로서 절연체 재료를 사용해야만 한다. 동시에, 제1 기판 및 제2
기판의 박판화를 검토하였을 경우, 한층 많은 스페이서가 필요해진다.
통상, 독립 스페이서를 배치할 경우, 스페이서를 형성한 후, 프릿 유리 등의 접착제를 이용하여 각 스페이서를 기판의 형광
체층 사이, 혹은 전자 방출 소자 사이를 겨냥하여 고정하는 방법이 이용되고 있다. 또한, 예를 들어 일본 특허 공개 제
2001-272927호 공보에는 전자빔이 통과하는 구멍이 미리 형성된 금속판에 다수의 스페이서를 높은 위치 정밀도로 형성
하고, 이 금속판 상에 형성된 스페이서를 제1 기판 또는 제2 기판에 위치 맞춤하는 방법이 제안되어 있다.
그러나, 전자의 방법의 경우 다수의 스페이서를 접착제에 의해 1개씩 기판 상에 고정해 가는 것은 양산에 적합하지 않고,
제조 비용도 비교적 고가가 된다. 또한, 접착제를 이용한 경우, 제조 시의 열 공정에서 발생하는 스페이서의 박리 및 접착
제의 비어져 나옴에 기인한 전계의 혼란 및 형광체의 오염 등이 문제된다. 후자의 방법에서는, 다수의 스페이서를 기판에
대해 일괄하여 위치 맞춤을 할 수 있는 반면, 제1 및 제2 기판 외에 추가로 스페이서 지지용의 지지 기판을 설치할 필요가
있어, 부품수의 증가 및 구조의 복잡화를 초래한다.
발명의 상세한 설명
공개특허 10-2007-0049180
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본 발명은 이상의 점을 비추어 이루어진 것으로, 그 목적은 지지 기판을 이용하는 일 없이 복수의 스페이서를 용이하게 또
한 높은 정밀도로 설치하는 것이 가능한 화상 표시 장치의 제조 방법 및 화상 표시 장치를 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 형태에 관한 화상 표시 장치의 제조 방법은 형광체층 및 차광층을 포함하는 형광면
이 형성된 제1 기판과, 이 제1 기판과 간극을 두고 대향 배치되어 있는 동시에 상기 형광면을 여기하는 복수의 전자 방출원
이 마련된 제2 기판과, 상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 마련되고 상기 제1 및 제2 기판에 작용하는 대기압 하중을 지지
하는 복수의 스페이서를 구비한 화상 표시 장치의 제조 방법에 있어서,
복수의 바닥이 있는 스페이서 형성 구멍을 가진 성형형을 준비하고, 상기 성형형의 각 스페이서 형성 구멍에 유리를 주성
분으로 하는 스페이서 형성 재료를 충전하고, 상기 스페이서 형성 재료가 충전된 성형형을, 그 스페이서 형성 구멍이 상기
제1 기판을 구성하는 유리 기판에 대향한 상태에서 상기 유리 기판에 밀착시키고, 상기 성형형을 상기 유리 기판에 밀착시
킨 상태에서 상기 스페이서 형성 재료를 경화시킨 후, 상기 스페이서 형성 재료를 유리 기판 상에 남기면서 상기 성형형을
분리하고, 상기 유리 기판 상의 스페이서 형성 재료를 소성하여 유리화하여, 각각 상기 유리 기판에 고정 부착된 복수의 스
페이서를 형성하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 형태에 관한 화상 표시 장치의 제조 방법은 형광체층 및 차광층을 포함하는 형광면이 형성된 제1 기판과,
이 제1 기판과 간극을 두고 대향 배치되어 있는 동시에 상기 형광면을 여기하는 복수의 전자 방출원이 마련된 제2 기판과,
상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 마련되고 상기 제1 및 제2 기판에 작용하는 대기압 하중을 지지하는 복수의 스페이서를
구비한 화상 표시 장치의 제조 방법에 있어서,
복수의 바닥이 있는 스페이서 형성 구멍을 가진 성형형과, 상기 형광면이 형성된 제1 기판을 준비하고, 상기 성형형의 각
스페이서 형성 구멍에 유리를 주성분으로 하는 스페이서 형성 재료를 충전하고, 상기 스페이서 형성 재료가 충전된 성형형
을, 그 스페이서 형성 구멍이 상기 제1 기판의 차광층과 대향한 상태에서 상기 제1 기판에 밀착시키고, 상기 성형형을 상기
제1 기판에 밀착시킨 상태에서 상기 스페이서 형성 재료를 경화시킨 후, 상기 스페이서 형성 재료를 제1 기판 상에 남기면
서 상기 성형형을 분리하고, 상기 제1 기판 상의 스페이서 형성 재료를 소성하여 유리화하여, 각각 상기 차광층 상에 고정
부착된 복수의 스페이서를 형성하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 형태에 관한 화상 표시 장치는 형광체층 및 차광층을 포함하는 형광면이 형성된 제1 기판과, 상기 제1 기판과 간
극을 두고 대향 배치되어 있는 동시에 상기 형광면을 여기하는 복수의 전자 방출원이 마련된 제2 기판과, 상기 제1 기판과
제2 기판 사이에 마련되고 상기 제1 및 제2 기판에 작용하는 대기압 하중을 지지하는 복수의 스페이서를 구비하고, 상기
복수의 스페이서는 유리를 주성분으로 하는 스페이서 형성 재료를 소성하여 유리화함으로써 상기 제1 기판의 내면에 직접
고정 부착하여 형성되어 있다.
본 발명의 다른 형태에 관한 화상 표시 장치는 형광체층 및 차광층을 포함하는 형광면이 형성된 제1 기판과, 상기 제1 기판
과 간극을 두고 대향 배치되어 있는 동시에 상기 형광면을 여기하는 복수의 전자 방출원이 마련된 제2 기판과, 상기 제1 기
판과 제2 기판 사이에 마련되고 상기 제1 및 제2 기판에 작용하는 대기압 하중을 지지하는 복수의 스페이서를 구비하고,
상기 복수의 스페이서는 유리를 주성분으로 하는 스페이서 형성 재료를 소성하여 유리화함으로써 상기 제1 기판의 차광층
상에 직접 고정 부착하여 형성되어 있다.
실시예
이하 도면을 참조하면서, 본 발명을 평면형의 화상 표시 장치로서 SED에 적용한 제1 실시 형태에 대해 상세하게 설명한
다.
도1 내지 도3에 도시한 바와 같이 SED는, 각각 직사각 형상의 유리판으로 이루어지는 제1 기판(10) 및 제2 기판(12)을 구
비하고, 이러한 기판은 약 1.0 내지 2.0 ㎜의 간극을 두고 대향 배치되어 있다. 제1 기판(10) 및 제2 기판(12)은 유리로 이
루어지는 직사각형 프레임 형상의 측벽(14)을 거쳐서 주연부끼리가 접합되고, 내부가 10-4 ㎩ 정도 이하의 고진공으로 유
지된 편평한 직사각 형상의 진공 케이싱(15)을 구성하고 있다.
제1 기판(10)의 내면에는 형광면으로서 기능하는 형광체 스크린(16)이 형성되어 있다. 형광체 스크린(16)은, 후술하는 바
와 같이 적색, 녹색, 청색으로 발광하는 형광체층(R, G, B)과 매트릭스 형상의 차광층(11)을 갖고 있다. 형광체 스크린(16)
상에는, 예를 들어 알루미늄을 주성분으로 하는 메탈백(17)이 형성되고, 또한 메탈백에 겹쳐 게터막(19)이 형성되어 있다.
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제2 기판(12)의 내면에는 형광체 스크린(16)의 형광체층(R, G, B)을 여기하는 전자 방출원으로서, 각각 전자빔을 방출하
는 다수의 표면 전도형의 전자 방출 소자(18)가 설치되어 있다. 이러한 전자 방출 소자(18)는 화소에 대응하여 복수열 및
복수행으로 배열되어 있다. 각 전자 방출 소자(18)는, 도시하지 않은 전자 방출부, 이 전자 방출부에 전압을 인가하는 한 쌍
의 소자 전극 등으로 구성되어 있다. 제2 기판(12)의 내면 상에는, 전자 방출 소자(18)를 구동하는 다수개의 배선(21)이 매
트릭스 형상으로 마련되고, 그 단부는 진공 케이싱(15)의 외부에 인출되어 있다. 접합 부재로서 기능하는 측벽(14)은, 예를
들어 저융점 유리 및 저융점 금속 등의 밀봉 부착재(20)에 의해, 제1 기판(10)의 주연부 및 제2 기판(12)의 주연부에 밀봉
부착되고, 이러한 기판끼리를 접합하고 있다.
도3 및 도4에 도시한 바와 같이 제1 기판(10)의 내면에 마련된 형광체 스크린(16)에 있어서, 형광체층(R, G, B)은 각각 직
사각 형상으로 형성되어 있다. 제1 기판(10)의 길이 방향을 제1 방향(X), 이와 직교하는 폭 방향을 제2 방향(Y)으로 한 경
우, 형광체층(R, G, B)은 제1 방향(X)으로 소정의 간극을 두고 교대로 배열되고, 제2 방향으로 동일색의 형광체층이 소정
의 간극을 두고 배열되어 있다. 형광체층(R, G, B)은 각각 대응하는 전자 방출 소자(18)와 대향하여 위치하고 있다. 형광체
스크린(16)은 흑색의 차광층(11)을 갖고 있다. 차광층(11)은 제1 기판(10)의 주연부에 따라 연장된 직사각형 프레임부 및
직사각형 프레임부의 내측으로 형광체층(R, G, B)의 사이를 매트릭스 형상으로 연장된 매트릭스부를 갖고 있다.
도2 내지 도4에 도시한 바와 같이, SED는 제1 기판(10) 및 제2 기판(12)의 사이에 배치된 다수의 스페이서(30)를 구비하
고 있다. 이러한 스페이서(30)는 기둥 형상으로 형성되고, 제1 기판(10)의 내면에 일체식으로 세워 설치되어 있다. 즉, 스
페이서(30)는 절연 물질로서 유리를 주성분으로 하는 스페이서 형성 재료를 소성하여 유리화함으로써, 제1 기판(10)의 표
면 상에 직접 고정 부착하여 형성되어 있다.
각 스페이서(30)는 제2 방향(Y)으로 인접하는 형광체층 사이에서 차광층(11)과 대응하는 위치에 세워 설치되어 있다. 스
페이서(3)의 연장 단부는 제2 기판(12)의 내면, 여기서는 제2 기판(12)의 내면 상에 마련된 배선(21) 상에 접촉하고 있다.
스페이서(30) 각각은 제1 기판(10)측의 기단부로부터 연장 단부를 향해 직경이 작아진 가늘고 긴 테이퍼 형상으로 형성되
어 있다. 제1 기판(10)과 내면으로 평행한 방향을 따른 스페이서(30)의 단면은, 거의 타원형으로 형성되어 있다.
제1 기판(10)에 세워 설치된 복수의 스페이서(30)는, 연장 단부가 제2 기판(12)의 내면에 접촉함으로써, 제1 및 제2 기판
에 작용하는 대기압 하중을 지지하고, 기판 사이의 간격을 소정치로 유지하고 있다.
SED에 있어서, 화상을 표시할 경우, 형광체 스크린(16) 및 메탈백(17)에, 예를 들어 8 ㎸의 애노드 전압을 인가하고, 전자
방출 소자(18)로부터 방출된 전자빔을 애노드 전압에 의해 가속하여 형광체 스크린으로 충돌시킨다. 이에 의해, 형광체 스
크린(16)의 대응하는 형광체층(R, G, B)이 여기되어 발광하고, 컬러 화상을 표시한다.
다음에, 이상과 같이 구성된 SED의 제조 방법에 대해 설명한다. 처음에, 제1 기판(10) 및 스페이서(30)의 제조 방법에 대
해 설명한다.
도5에 도시한 바와 같이, 우선 제1 기판(10)으로서 소정 치수의 유리 기판 및 제1 기판보다도 약간 작은 치수를 가진 직사
각형 판 형상의 성형형(成形型)을 준비한다. 성형형(36)은 자외선을 투과하는 투명한 재료, 예를 들어 투명 폴리에틸렌테
레프탈레이트를 주체로 한 투명 실리콘 등에 의해 평탄한 판 형상으로 형성되어 있다. 성형형(36)은 제1 기판(10)의 일 표
면에 접촉하는 평탄한 접촉면(41)과, 스페이서(30)를 성형하기 위한 다수의 바닥이 있는 스페이서 형성 구멍(40)을 갖고
있다. 스페이서 형성 구멍(40)은 각각 성형형(36)의 접촉면(41)에 개구하고 있는 동시에, 소정의 간격을 두고 배열되어 있
다. 각 스페이서 형성 구멍(40)은 스페이서(30)에 대응한 치수로 형성되어 있다.
계속해서, 성형형(36)의 스페이서 형성 구멍(40)에 스페이서 형성 재료(46)를 충전한다. 스페이서 형성 재료(46)로서는,
적어도 자외선 경화형의 바인더(유기 성분) 및 유리 필러를 함유한 유리 페이스트를 이용한다. 유리 페이스트의 비중 및 점
도는 적절하게 선택한다.
도6에 도시한 바와 같이, 제1 기판(10)에 대해 성형형(36)을 위치 결정하고, 접촉면(41)을 제1 기판의 표면에 밀착시킨다.
이에 의해, 제1 기판(10) 및 성형형(36)으로 이루어지는 조립체를 구성한다. 다음에, 충전된 스페이서 형성 재료(46)에 대
해, 예를 들어 자외선 램프 등을 이용하여 제1 기판(10) 및 성형형(36)의 외면측으로부터 2000 mJ의 자외선(UV)을 조사
하여, 스페이서 형성 재료(46)를 UV 경화시킨다. 그때, 성형형(36)은 자외선 투과 재료로서의 투명한 실리콘으로 형성되
어 있다. 그로 인해, 자외선은 스페이서 형성 재료(46)에 직접 및 성형형(36)을 투과하여 조사된다. 따라서, 충전된 스페이
서 형성 재료(46)를 그 내부까지 확실하게 경화시킬 수 있다.
공개특허 10-2007-0049180
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그 후, 도7에 도시한 바와 같이 경화한 스페이서 형성 재료(46)를 제1 기판(10) 상에 남기도록, 성형형(36)을 제1 기판(10)
으로부터 분리한다. 다음에, 스페이서 형성 재료(46)가 마련된 제1 기판(10)을 가열로 내에서 열처리하여, 스페이서 형성
재료 내에서부터 바인더를 날린 후, 약 500 내지 550 ℃에서 30분 내지 1시간, 스페이서 형성 재료(46)를 본 소성하여 유
리화한다. 이에 의해, 제1 기판(10)의 표면 상에 다수의 스페이서(30)가 일괄하여 형성된다. 그리고, 각 스페이서(30)는 스
페이서 형성 재료 자신의 접착력에 의해, 제1 기판(10)의 표면에 직접 고정 부착하여, 제1 기판과 일체식으로 조립된다.
다음에, 도8에 도시한 바와 같이 스페이서(30)가 세워 설치되어 있는 제1 기판(10)의 표면 상에 잉크젯에 의해, 형광체층
(R, G, B) 및 차광층(11)을 차례로 인쇄 형성하여 형광체 스크린(16)을 형성한다. 이 경우, 스페이서(30)를 오염시키지 않
도록, 예를 들어 인자 헤드(47)로부터 제1 기판(10)을 향해 잉크를 분사하여 형광체 스크린(16)을 형성한다.
계속해서, 도9에 도시한 바와 같이 각 스페이서(30)의 연장 단부를 피복하는 마스크(50), 예를 들어 판 형상 혹은 메쉬 형
상의 금속 마스크를 배치한 후, 형광체 스크린(16) 상에, 예를 들어 알루미늄 등을 증착하여 메탈백(17)을 성막한다. 이때,
각 스페이서(30)는 마스크(50)에 의해 피복되어 있기 때문에, 스페이서를 오염시키는 일 없이 메탈백(17)을 형성할 수 있
다.
한편, SED의 제조에 있어서는, 별도 전자 방출 소자(18) 및 배선(21)이 설치되어 있는 동시에 측벽(14)이 접합된 제2 기판
(12)을 준비해 둔다. 계속해서, 상기한 바와 같이 하여 얻을 수 있는 제1 기판(10) 및 제2 기판(12)을 진공 챔버 내에 배치
하고, 진공 챔버 내를 진공 배기한다. 도10에 도시한 바와 같이, 각 스페이서(30)의 연장 단부를 마스크(50) 혹은 게터용의
다른 마스크에 의해 피복한 상태에서, 제1 기판(10)의 메탈백(17)에 겹쳐 게터를 날려서 게터막(19)을 형성한다. 이때, 각
스페이서(30)는 마스크(50)에 의해 피복되어 있기 때문에, 스페이서를 오염시키는 일 없이 게터막(19)을 형성할 수 있다.
게터막의 형성 후, 스페이서(30)로부터 마스크(50)를 제거한다. 그 후에 진공 분위기 속에서, 측벽(14)을 거쳐서 제1 기판
(10)과 제2 기판(12)을 서로 접합한다. 이에 의해, 스페이서(30)를 구비한 SED가 제조된다.
이상과 같이 구성된 SED 및 그 제조 방법에 따르면, 성형형 및 스페이서 형성 재료를 이용한 일괄 형성법에 의해, 기판 상
에 직접 스페이서를 형성하고, 그 후에 스페이서 형성 재료를 소성 및 유리화하여 스페이서를 형성하고 있다. 이에 의해,
접착제를 이용하는 일 없이 다수의 스페이서를 기판 상에 직접 고정 부착하여 형성할 수 있다. 따라서, 지지 기판을 이용하
는 일 없이 복수의 스페이서를 용이하게 또한 높은 정밀도로 설치하는 것이 가능해진다. 동시에, 양산화 및 제조 비용의 저
감이 가능한 SED 및 그 제조 방법을 얻을 수 있다.
다음에, 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 SED에 대해 설명한다. 도11에 도시한 바와 같이, SED는 제1 기판(10) 및 제2 기
판(12)의 사이에 배치된 다수의 스페이서(30)를 구비하고 있다. 제2 실시 형태에 따르면, 스페이서(30)는 제1 기판(10)의
형광체 스크린(16) 상에 일체식으로 세워 설치되어 있다. 즉, 스페이서(30)는 절연 물질로서 유리를 주성분으로 하는 스페
이서 형성 재료를 소성하여 유리화함으로써, 형광체 스크린(16)의 차광층(11)에 직접 고정 부착하여 형성되어 있다. 스페
이서(3)의 연장 단부는 제2 기판(12)의 내면, 여기서는 제2 기판(12)의 내면 상에 마련된 배선(21) 상에 접촉하고 있다. 스
페이서(30) 각각은, 제1 기판(10)측의 기단부로부터 연장 단부를 향해 직경이 작아진 끝이 가는 테이퍼 형상으로 형성되어
있다. 제1 기판(10)과 내면과 평행한 방향을 따른 스페이서(30)의 단면은, 거의 타원형으로 형성되어 있다.
SED의 다른 구성은 전술한 제1 실시 형태와 동일하고, 동일한 부분에는 동일한 참조 부호를 붙여 그 상세한 설명을 생략
한다.
다음에, 이상과 같이 구성된 SED의 제조 방법에 대해 설명한다. 처음에, 제1 기판(10) 및 스페이서(30)의 제조 방법에 대
해 설명한다.
도12에 도시한 바와 같이, 우선 제1 기판(10)으로서 소정 치수의 유리 기판 및 제1 기판보다도 약간 작은 치수를 가진 직
사각형 판 형상의 성형형을 준비한다. 성형형(36)은 자외선을 투과하는 투명한 재료, 예를 들어 투명 폴리에틸렌테레프탈
레이트를 주체로 한 투명 실리콘 등에 의해 평탄한 판 형상으로 형성되어 있다. 성형형(36)은 제1 기판(10)의 일 표면에 접
촉하는 평탄한 접촉면(41a)과, 스페이서(30)를 성형하기 위한 다수의 바닥이 있는 스페이서 형성 구멍(40)을 갖고 있다.
스페이서 형성 구멍(40)은 각각 성형형(36)의 접촉면(41)에 개구하고 있는 동시에, 소정의 간격을 두고 배열되어 있다. 각
스페이서 형성 구멍(40)은 스페이서(30)에 대응한 치수로 형성되어 있다.
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다음에, 통상의 방법에 의해, 제1 기판(10)의 한쪽의 표면 상에 형광체층(R, G, B) 및 차광층(11)을 가진 형광체 스크린
(16)을 형성한다. 그 후에 성형형(36)의 스페이서 형성 구멍(40)에 스페이서 형성 재료(46)를 충전한다. 스페이서 형성 재
료(46)로서는, 적어도 자외선 경화형의 바인더(유기 성분) 및 유리 필러를 함유한 유리 페이스트를 이용한다. 유리 페이스
트의 비중 및 점도는 적절하게 선택한다.
도13에 도시한 바와 같이, 제1 기판(10)에 대해 성형형(36)을 위치 결정하고, 접촉면(41)을 형광체 스크린(16)에 밀착시킨
다. 이때, 스페이서 형성 구멍(40)이 각각 차광층(11)과 대향하도록 성형형(36)을 위치 결정한다. 이에 의해, 제1 기판(10)
및 성형형(36)으로 이루어지는 조립체를 구성한다.
다음에, 충전된 스페이서 형성 재료(46)에 대해, 예를 들어 자외선 램프 등을 이용하여 제1 기판(10) 및 성형형(36)의 외면
측으로부터 2000 mJ의 자외선(UV)을 조사하여 스페이서 형성 재료(46)를 UV 경화시킨다. 그때, 성형형(36)은 자외선 투
과 재료로서의 투명한 실리콘으로 형성되어 있다. 그로 인해, 자외선은 스페이서 형성 재료(46)에 직접 및 성형형(36)을 투
과하여 조사된다. 따라서, 충전된 스페이서 형성 재료(46)를 그 내부까지 확실하게 경화시킬 수 있다.
계속해서, 도14에 도시한 바와 같이 경화한 스페이서 형성 재료(46)를 형광체 스크린(16) 상에 남기도록, 성형형(36)을 제
1 기판(10)으로부터 박리한다. 다음에, 스페이서 형성 재료(46)가 마련된 제1 기판(10)을 가열로 내에서 열처리하고, 스페
이서 형성 재료 내에서부터 바인더를 날린 후, 약 500 내지 550 ℃에서 30분 내지 1시간, 스페이서 형성 재료(46)를 본 소
성하여 유리화한다. 이에 의해, 제1 기판(10)의 형광체 스크린(16) 상에 다수의 스페이서(30)가 일괄하여 형성된다. 그리
고, 각 스페이서(30)는 스페이서 형성 재료 자신의 접착력에 의해, 차광층(11)에 직접 고정 부착하고, 제1 기판과 일체식으
로 조립된다.
그 후, 도15에 도시한 바와 같이 각 스페이서(30)의 연장 단부를 피복하는 마스크(50), 예를 들어 판 형상 혹은 메쉬 형상
의 금속 마스크를 배치한 후, 형광체 스크린(16) 상에, 예를 들어 알루미늄 등을 증착하여 메탈백(17)을 성막한다. 이때, 각
스페이서(30)는 마스크(50)에 의해 피복되어 있기 때문에, 스페이서를 오염시키는 일 없이 메탈백(17)을 형성할 수 있다.
SED의 제조에 있어서는, 별도 전자 방출 소자(18) 및 배선(21)이 설치되어 있는 동시에 측벽(14)이 접합된 제2 기판(12)
을 준비해 둔다. 계속해서, 상기한 바와 같이 하여 얻을 수 있는 제1 기판(10) 및 제2 기판(12)을 진공 챔버 내에 배치하고,
진공 챔버 내를 진공 배기한다.
도16에 도시한 바와 같이, 각 스페이서(30)의 연장 단부를 마스크(50) 혹은 게터용의 다른 마스크에 의해 피복한 상태에
서, 제1 기판(10)의 메탈백(17)에 겹쳐 게터를 날려서 게터막(19)을 형성한다. 이때, 각 스페이서(30)는 마스크(50)에 의
해 피복되어 있기 때문에, 스페이서를 오염시키는 일 없이 게터막(19)을 형성할 수 있다. 게터막의 형성 후, 스페이서(30)
로부터 마스크(50)를 제거한다. 그 후에, 진공 분위기 속에서 측벽(14)을 거쳐서 제1 기판(10)과 제2 기판(12)을 서로 접
촉한다. 이에 의해, 스페이서(30)를 구비한 SED가 제조된다.
이상과 같이 구성된 SED 및 그 제조 방법에 따르면, 성형형 및 스페이서 형성 재료를 이용한 일괄 형성법에 의해, 기판 상
에 직접 스페이서를 형성하고, 그 후에 스페이서 형성 재료를 소성 및 유리화하여 스페이서를 형성하고 있다. 이에 의해,
접착제를 이용하는 일 없이 다수의 스페이서를 형광체 스크린 상에 직접 고정 부착하여 형성할 수 있다. 따라서, 지지 기판
을 이용하는 일 없이 복수의 스페이서를 용이하게 또한 높은 정밀도로 설치하는 것이 가능해진다. 동시에, 양산화 및 제조
비용의 저감이 가능한 SED 및 그 제조 방법을 얻을 수 있다.
다음에, 본 발명의 제3 실시 형태에 관한 SED에 대해 설명한다. 도17에 도시한 바와 같이, SED는 제1 기판(10) 및 제2 기
판(12) 사이에 배치된 다수의 스페이서(30)를 구비하고 있다. 제3 실시 형태에 따르면, 스페이서(30)는 제1 기판(10)의 메
탈백(17) 상에 일체식으로 세워 설치되어 있다. 즉, 제1 기판(10)의 내면에는 형광체 스크린(16)이 형성되고, 이 형광체 스
크린에 겹쳐 알루미늄 등으로 이루어지는 메탈백(17)이 형성되어 있다. 스페이서(30)는 절연 물질로서 유리를 주성분으로
하는 스페이서 형성 재료를 소성하여 유리화함으로써, 메탈백(17) 상에 직접 고정 부착하여 형성되어 있다.
스페이서(3)의 연장 단부는 제2 기판(12)의 내면, 여기서는 제2 기판(12)의 내면 상에 마련된 배선(21) 상에 접촉하고 있
다. 스페이서(30)의 각각은, 제1 기판(10)측의 기단부로부터 연장 단부를 향해 직경이 작아진 끝이 가는 테이퍼 형상으로
형성되어 있다. 제1 기판(10)과 내면과 평행한 방향을 따른 스페이서(30)의 단면은, 거의 타원형으로 형성되어 있다.
SED의 다른 구성은 전술한 제1 실시 형태와 동일하고, 동일한 부분에는 동일한 참조 부호를 붙여 그 상세한 설명을 생략
한다.
공개특허 10-2007-0049180
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다음에, 이상과 같이 구성된 SED의 제조 방법에 대해 설명한다. 처음에, 제1 기판(10) 및 스페이서(30)의 제조 방법에 대
해 설명한다.
도18에 도시한 바와 같이, 우선 제1 기판(10)으로서 소정 치수의 유리 기판을 준비한다. 그리고, 통상의 방법에 의해, 제1
기판(10)의 한쪽의 표면 상에 형광체층(R, G, B) 및 차광층(11)을 가진 형광체 스크린(16)을 형성한다. 이 형광체 스크린
(16) 상에, 예를 들어 알루미늄을 증착하여 메탈백(17)을 형성한다.
다음에, 제1 기판(10)보다도 약간 작은 치수를 가진 직사각형 판 형상의 성형형을 준비한다. 성형형(36)은 자외선을 투과
하는 투명한 재료, 예를 들어 투명 폴리에틸렌테레프탈레이트를 주체로 한 투명 실리콘 등에 의해 평탄한 판 형상으로 형
성되어 있다. 성형형(36)은 제1 기판(10)의 일 표면에 접촉하는 평탄한 접촉면(41a)과, 스페이서(30)를 성형하기 위한 다
수의 바닥이 있는 스페이서 형성 구멍(40)을 갖고 있다. 스페이서 형성 구멍(40)은 각각 성형형(36)의 접촉면(41)에 개구
하고 있는 동시에, 소정의 간격을 두고 배열되어 있다. 각 스페이서 형성 구멍(40)은 스페이서(30)에 대응한 치수로 형성되
어 있다.
다음에, 성형형(36)의 스페이서 형성 구멍(40)에 스페이서 형성 재료(46)를 충전한다. 스페이서 형성 재료(46)로서는, 적
어도 자외선 경화형의 바인더(유기 성분) 및 유리 필러를 함유한 유리 페이스트를 이용한다. 유리 페이스트의 비중 및 점도
는 적절하게 선택한다.
도19에 도시한 바와 같이, 제1 기판(10)에 대해 성형형(36)을 위치 결정하고, 접촉면(41)을 메탈백(17)에 밀착시킨다. 이
때, 스페이서 형성 구멍(40)이 각각 형광체 스크린(16)의 차광층(11)과 대향하도록 성형형(36)을 위치 결정한다. 이에 의
해, 제1 기판(10) 및 성형형(36)으로 이루어지는 조립체를 구성한다.
다음에, 충전된 스페이서 형성 재료(46)에 대해, 예를 들어 자외선 램프 등을 이용하여 제1 기판(10) 및 성형형(36)의 외면
측으로부터 2000 mJ의 자외선(UV)을 조사하여 스페이서 형성 재료(46)를 UV 경화시킨다. 그때, 성형형(36)은 자외선 투
과 재료로서의 투명한 실리콘으로 형성되어 있다. 그로 인해, 자외선은 스페이서 형성 재료(46)에 직접 및 성형형(36)을 투
과하여 조사된다. 따라서, 충전된 스페이서 형성 재료(46)를 그 내부까지 확실하게 경화시킬 수 있다.
계속해서, 도20에 도시한 바와 같이 경화된 스페이서 형성 재료(46)를 메탈백(17) 상에 남기도록, 성형형(36)을 제1 기판
(10)으로부터 박리한다. 또한, 스페이서 형성 재료(46)가 마련된 제1 기판(10)을 가열로 내에서 열처리하고, 스페이서 형
성 재료 내에서 바인더를 날린 후, 약 500 내지 550 ℃에서 30분 내지 1시간, 스페이서 형성 재료(46)를 본 소성하여 유리
화한다. 이에 의해, 제1 기판(10)의 메탈백(17) 상에 다수의 스페이서(30)가 일괄하여 형성된다. 각 스페이서(30)는 스페
이서 형성 재료 자신의 접착력에 의해 메탈백(17)에 직접 고정 부착하고, 제1 기판과 일체로 만들어 조립된다.
한편, SED의 제조에 있어서는, 별도 전자 방출 소자(18) 및 배선(21)이 설치되어 있는 동시에 측벽(14)이 접합된 제2 기판
(12)을 준비해 둔다. 계속해서, 도21에 도시한 바와 같이 각 스페이서(30)의 연장 단부를 피복하는 마스크(52), 예를 들어
판 형상의 금속 마스크를 배치한 후, 이 제1 기판(10) 및 제2 기판(12)을 진공 챔버 내에 배치하고, 진공 챔버 내를 진공 배
기한다.
진공 분위기 속에서, 제1 기판(10)의 메탈백(17)에 겹쳐 게터를 날려서 게터막(19)을 형성한다. 이때, 각 스페이서(30)는
마스크(52)에 의해 피복되어 있기 때문에, 스페이서를 오염시키는 일 없이 게터막(19)을 형성할 수 있다. 게터막(19)의 형
성 후, 스페이서(30)로부터 마스크(52)를 제거한다. 그 후에 진공 분위기 속에서, 측벽(14)을 거쳐서 제1 기판(10)과 제2
기판(12)을 서로 접합한다. 이에 의해, 스페이서(30)를 구비한 SED가 제조된다.
이상과 같이 구성된 SED 및 그 제조 방법에 따르면, 성형형 및 스페이서 형성 재료를 이용한 일괄 형성법에 의해, 기판 상
에 직접 스페이서를 형성하고, 그 후에 스페이서 형성 재료를 소성 및 유리화하여 스페이서를 형성하고 있다. 이에 의해,
접착제를 이용하는 일 없이 다수의 스페이서를 형광체 스크린 상에 직접 고정 부착하여 형성할 수 있다. 따라서, 지지 기판
을 이용하는 일 없이 복수의 스페이서를 용이하게 또한 높은 정밀도로 설치하는 것이 가능해진다. 동시에, 양산화 및 제조
비용의 저감이 가능한 SED 및 그 제조 방법을 얻을 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 실시 형태 그대로 한정되는 것은 아니며, 실시 단계에서는 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성
요소를 변형하여 구체화할 수 있다. 또한, 상기 실시 형태에 개시되어 있는 복수의 구성 요소의 적절한 조합에 의해, 여러
가지의 발명을 형성할 수 있다. 예를 들어, 실시 형태에 나타내는 전체 구성 요소로부터 몇 가지의 구성 요소를 삭제해도
좋다. 또한, 다른 실시 형태에 걸치는 구성 요소를 적절하게 조합해도 좋다.
공개특허 10-2007-0049180
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스페이서의 형상 및 성형형이나 그 밖의 구성 요소의 치수 및 재질 등은 상술한 실시 형태로 한정되는 일 없이 필요에 따라
서 적절하게 선택 가능하다. 스페이서 형성 재료의 충전 조건은 필요에 따라서 여러 가지 선택 가능하다. 또한, 본 발명은
전자원으로서 표면 전도형 전자 방출 소자를 이용한 것으로 한정되지 않고, 전계 방출형 및 카본 나노튜브 등의 다른 전자
원을 이용한 화상 표시 장치에도 적용 가능하다.
산업상 이용 가능성
본 발명에 따르면, 지지 기판을 이용하는 일 없이 복수의 스페이서를 용이하게 또한 높은 정밀도로 설치하는 것이 가능한
화상 표시 장치의 제조 방법 및 화상 표시 장치를 제공할 수 있다.
도면의 간단한 설명
도1은 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 SED를 도시하는 사시도이다.
도2는 도1의 선 Ⅱ-Ⅱ에 따라 파단한 상기 SED의 사시도이다.
도3은 상기 SED를 확대하여 도시하는 단면도이다.
도4는 상기 SED의 제1 기판을 도시하는 평면도이다.
도5는 상기 SED에 있어서의 제1 기판 및 스페이서의 제조 공정을 도시하는 단면도이다.
도6은 상기 제조 공정에 있어서, 성형형 및 제1 기판을 밀착시킨 조립체를 도시하는 단면도이다.
도7은 상기 성형형을 분리한 상태를 도시하는 단면도이다.
도8은 상기 제1 기판 상에 잉크젯에 의해 형광체 스크린을 형성하는 구성을 도시하는 단면도이다.
도9는 상기 제조 공정에 있어서, 제1 기판 상에 메탈백을 형성하는 공정을 도시하는 단면도이다.
도10은 상기 제조 공정에 있어서, 제1 기판 상에 게터막을 형성하는 공정을 도시하는 단면도이다.
도11은 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 SED를 확대하여 도시하는 단면도이다.
도12는 상기 제2 실시 형태에 관한 SED에 있어서의 제1 기판 및 스페이서의 제조 공정을 도시하는 단면도이다.
도13은 상기 제조 공정에 있어서, 성형형 및 제1 기판을 밀착시킨 조립체를 도시하는 단면도이다.
도14는 상기 성형형을 분리한 상태를 도시하는 단면도이다.
도15는 상기 제조 공정에 있어서, 제1 기판 상에 메탈백을 형성하는 공정을 도시하는 단면도이다.
도16은 상기 제조 공정에 있어서, 제1 기판 상에 게터막을 형성하는 공정을 도시하는 단면도이다.
도17은 본 발명의 제3 실시 형태에 관한 SED를 확대하여 도시하는 단면도이다.
도18은 상기 제3 실시 형태에 관한 SED에 있어서의 제1 기판 및 스페이서의 제조 공정을 도시하는 단면도이다.
도19는 상기 제조 공정에 있어서, 성형형 및 제1 기판을 밀착시킨 조립체를 도시하는 단면도이다.
도20은 상기 성형형을 분리한 상태를 도시하는 단면도이다.
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도21은 상기 제조 공정에 있어서, 제1 기판 상에 게터막을 형성하는 공정을 도시하는 단면도이다.
도면
도면1
도면2
도면3
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도면4
도면5
도면6
도면7
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도면8
도면9
도면10
도면11
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도면12
도면13
도면14
도면15
도면16
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도면17
도면18
도면19
도면20
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도면21
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