MEMS 디스플레이 구조체의 낮은 범위 비트 심도 증강을위한 방법 및 장치(METHOD AND APPARATUS FOR LOW RANGE BIT DEPTH ENHANCEMENT FOR MEMS DISPLAY ARCHITECTURES)

(19) 대한민국특허청(KR)
(12) 공개특허공보(A)
(11) 공개번호 10-2009-0023687
(43) 공개일자 2009년03월05일
(51) Int. Cl.

G09G 3/34 (2006.01) G02F 1/00 (2006.01)
(21) 출원번호 10-2009-7000664
(22) 출원일자 2009년01월13일
심사청구일자 없음
번역문제출일자 2009년01월13일
(86) 국제출원번호 PCT/US2007/010499
국제출원일자 2007년04월30일
(87) 국제공개번호 WO 2007/145720
국제공개일자 2007년12월21일
(30) 우선권주장
11/454,162 2006년06월15일 미국(US)
(71) 출원인
퀄컴 엠이엠스 테크놀로지스, 인크.
미국 92121-1714 캘리포니아 샌디에고 모어하우스
드라이브 5775
(72) 발명자
샘프셀, 제프리, 브라이언
미국 콜로라도 81007 푸에블로 웨스트 사우스 알
타 비스타 레인 233
(74) 대리인
특허법인아주
전체 청구항 수 : 총 41 항
(54) ＭＥＭＳ 디스플레이 구조체의 낮은 범위 비트 심도 증강을위한 방법 및 장치
(57) 요 약
광변조기 장치는 제1 전기 도관; 상기 제1 전기 도관과는 전기적으로 절연된 제2 전기 도관; 제1 표시 소자; 및
제2 표시 소자를 포함한다. 상기 제1 표시 소자는 상기 제1 전기 도관과 제2 전기 도관 사이의 전압차가 제1 작
동 전압보다 큰 크기를 가질 경우 작동 상태이고, 또, 상기 전압차가 제1 해방 전압보다 작은 크기를 가질 경우
해방 상태이다. 상기 제2 표시 소자는 상기 전압차가 제2 작동 전압보다 큰 크기를 가질 경우 작동 상태이고,
또, 상기 전압차가 제2 해방 전압보다 작은 크기를 가질 경우 해방 상태이다. 상기 작동 전압들은 실질적으로
동일하고 상기 해방 전압들은 상이하거나, 또는 상기 작동 전압들은 상이하고 상기 해방 전압들은 실질적으로 동
일하다.
대 표 도 - 도16
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공개특허 10-2009-0023687
특허청구의 범위
청구항 1
제1 전기 도관;
상기 제1 전기 도관과는 전기적으로 절연된 제2 전기 도관;
상기 제1 전기 도관 및 제2 전기 도관과 연통하도록 구성되어, 상기 제1 전기 도관과 제2 전기 도관 사이의 전
압차가 제1 작동 전압보다 큰 크기를 가질 경우 작동 상태이고, 또, 상기 제1 전기 도관과 제2 전기 도관 사이
의 전압차가 제1 해방 전압(first release voltage)보다 작은 크기를 가질 경우 해방 상태인 제1 표시 소자; 및
상기 제1 전기 도관 및 제2 전기 도관과 연통하도록 구성되어, 상기 제1 전기 도관과 제2 전기 도관 사이의 전
압차가 제2 작동 전압보다 큰 크기를 가질 경우 작동 상태이고, 또, 상기 제1 전기 도관과 제2 전기 도관 사이
의 전압차가 제2 해방 전압보다 작은 크기를 가질 경우 해방 상태인 제2 표시 소자를 포함하되,
상기 제1 작동 전압은 상기 제2 작동 전압과 실질적으로 동일하고 상기 제1 해방 전압은 상기 제2 해방 전압과
상이하거나, 또는 상기 제1 작동 전압은 상기 제2 작동 전압과 상이하고 상기 제1 해방 전압은 상기 제2 해방
전압과 실질적으로 동일한 것인 광변조기 장치(light modulator device).
청구항 2
제1항에 있어서, 상기 제1 작동 전압은 상기 제2 작동 전압과 실질적으로 동일하고, 상기 제1 해방 전압은 상기
제2 해방 전압과 상이한 것인 광변조기 장치.
청구항 3
제1항에 있어서, 상기 제1 해방 전압은 상기 제2 해방 전압과 실질적으로 동일하고, 상기 제1 작동 전압은 상기
제2 작동 전압과 상이한 것인 광변조기 장치.
청구항 4
제1항에 있어서, 상기 제1 표시 소자는 제1 광학적 활성 영역을 지니고, 상기 제2 표시 소자는 제2 광학적 활성
영역을 지니며, 제1 광학적 활성 영역/상기 제2 광학적 활성 영역의 비는 정수/1과 대략 동일한 것인 광변조기
장치.
청구항 5
제4항에 있어서, 상기 정수는 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9 또는 10인 것인 광변조기 장치.
청구항 6
제4항에 있어서, 상기 정수는 3, 7, 15, 31, 63, 127 또는 255인 것인 광변조기 장치.
청구항 7
제1항에 있어서, 상기 제1 표시 소자는 간섭계(interferometric) 표시 소자이고, 상기 제2 표시 소자는 간섭계
표시 소자인 것인 광변조기 장치.
청구항 8
제1항에 있어서, 상기 장치는 화소의 어레이를 포함하되, 상기 제1 표시 소자 및 제2 표시 소자는 동일한 화소
내에 있는 것인 광변조기 장치.
청구항 9
제1항에 있어서, 상기 제1 해방 전압의 크기는 상기 제1 작동 전압의 크기보다 작은 것인 광변조기 장치.
청구항 10
제9항에 있어서, 상기 제2 작동 전압의 크기는 상기 제2 해방 전압의 크기보다 큰 것인 광변조기 장치.
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공개특허 10-2009-0023687
청구항 11
제1항의 광변조기 장치를 포함하는 디스플레이에 있어서,
상기 디스플레이와 연통하여, 이미지 데이터를 처리하도록 구성된 프로세서; 및
상기 프로세서와 연통하도록 구성된 메모리 장치를 더 포함하는 것인 디스플레이.
청구항 12
제11항에 있어서, 상기 디스플레이에 적어도 하나의 신호를 전송하도록 구성된 드라이버 회로를 더 포함하는 디
스플레이.
청구항 13
제12항에 있어서, 상기 드라이버 회로에 상기 이미지 데이터의 적어도 일부를 전송하도록 구성된 제어기를 더
포함하는 디스플레이.
청구항 14
제11항에 있어서, 상기 프로세서에 상기 이미지 데이터를 전송하도록 구성된 이미지 소스 모듈(image source
module)을 더 포함하는 디스플레이.
청구항 15
제14항에 있어서, 상기 이미지 소스 모듈은 수신기, 트랜스시버(transceiver) 및 송신기의 적어도 하나를 포함
하는 것인 디스플레이.
청구항 16
제11항에 있어서, 입력 데이터를 수신하고 해당 입력 데이터를 상기 프로세서에 전달하도록 구성된 입력 장치를
더 포함하는 디스플레이.
청구항 17
전기 신호를 전달하는 제1 전달 수단;
전기 신호를 전달하며, 상기 제1 전달 수단과는 전기적으로 절연되어 있는 제2 전달 수단;
상기 상기 제1 전달 수단 및 제2 전달 수단과 연통하도록 구성되어, 상기 제1 전달 수단과 제2 전달 수단 사이
의 전압차가 제1 작동 전압보다 큰 크기를 가질 경우 작동 상태이고, 또, 상기 제1 전달 수단과 제2 전달 수단
사이의 전압차가 제1 해방 전압보다 작은 크기를 가질 경우 해방 상태인, 광을 변조하기 위한 제1 변조 수단;
및
상기 상기 제1 전달 수단 및 제2 전달 수단과 연통하도록 구성되어, 상기 제1 전달 수단과 제2 전달 수단 사이
의 전압차가 제2 작동 전압보다 큰 크기를 가질 경우 작동 상태이고, 또, 상기 제1 전달 수단과 제2 전달 수단
사이의 전압차가 제2 해방 전압보다 작은 크기를 가질 경우 해방 상태인, 광을 변조하기 위한 제2변조 수단를
포함하되,
상기 제1 작동 전압은 상기 제2 작동 전압과 실질적으로 동일하고 상기 제1 해방 전압은 상기 제2 해방 전압과
상이하거나, 또는 상기 제1 작동 전압은 상기 제2 작동 전압과 상이하고, 상기 제1 해방 전압은 상기 제2 해방
전압과 실질적으로 동일한 것인 광변조기 장치.
청구항 18
제17항에 있어서, 상기 제1 전달 수단은 전기 도관을 포함하는 것인 광변조기 장치.
청구항 19
제17항에 있어서, 상기 제2 전달 수단은 전기 도관을 포함하는 것인 광변조기 장치.
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청구항 20
제17항에 있어서, 상기 제1 변조 수단은 간섭계 변조기를 포함하는 것인 광변조기 장치.
청구항 21
제17항에 있어서, 상기 제2 변조 수단은 간섭계 변조기를 포함하는 것인 광변조기 장치.
청구항 22
제1 전기 도관 및 제2 전기 도관과 연통하도록 구성되어, 상기 제1 전기 도관과 제2 전기 도관 사이의 전압차가
제1 작동 전압보다 큰 크기를 가질 경우 작동 상태이고, 또, 상기 제1 전기 도관과 제2 전기 도관 사이의 전압
차가 제1 해방 전압보다 작은 크기를 가질 경우 해방 상태인 제1 표시 소자를 제공하는 단계;
상기 제1 전기 도관 및 제2 전기 도관과 연통하도록 구성되어, 상기 제1 전기 도관과 제2 전기 도관 사이의 전
압차가 제2 작동 전압보다 큰 크기를 가질 경우 작동 상태이고, 또, 상기 제1 전기 도관과 제2 전기 도관 사이
의 전압차가 제2 해방 전압보다 작은 크기를 가질 경우 해방 상태인 제2 표시 소자를 제공하는 단계; 및
상기 제1 표시 소자 및 제2 표시 소자를 선택적으로 작동/해방하도록 상기 제1 및 제2 전기 도관에 전압을 선택
적으로 인가하는 단계를 포함하되,
상기 제1 작동 전압은 상기 제2 작동 전압과 실질적으로 동일하고 상기 제1 해방 전압은 상기 제2 해방 전압과
상이하거나, 또는 상기 제1 작동 전압은 상기 제2 작동 전압과 상이하고 상기 제1 해방 전압은 상기 제2 해방
전압과 실질적으로 동일한 것인 광변조 방법.
청구항 23
제22항에 있어서, 상기 제1 작동 전압은 상기 제2 작동 전압과 실질적으로 동일하고, 상기 제1 해방 전압은 상
기 제2 해방 전압과 상이한 것인 광변조 방법.
청구항 24
제23항에 있어서, 상기 전압을 선택적으로 인가하는 단계는, 상기 제1 전기 도관과 제2 전기 도관 사이에 제1
전압차를 인가함으로써 상기 제1 표시 소자와 제2 표시 소자를 모두 작동 상태로 하는 단계를 포함하며, 상기
제1 전압은 상기 제1 작동 전압보다 큰 크기를 가지는 것인 광변조 방법.
청구항 25
제24항에 있어서, 상기 전압을 선택적으로 인가하는 단계는, 상기 제1 전압차를 인가한 후에 상기 제1 전기 도
관과 제2 전기 도관 사이에 제2 전압차를 인가함으로써 상기 제1 표시 소자와 제2 표시 소자 중 한쪽만을 해방
상태로 하는 단계를 더 포함하며, 상기 제2 전압차는 상기 제1 해방 전압과 상기 제2 해방 전압 사이의 크기를
가지는 것인 광변조 방법.
청구항 26
제25항에 있어서, 상기 전압을 선택적으로 인가하는 단계는, 상기 제2 전압차를 인가한 후에 상기 제1 전기 도
관과 제2 전기 도관 사이에 제3 전압차를 인가함으로써 상기 제1 표시 소자와 제2 표시 소자의 양쪽 모두를 해
방 상태로 하는 단계를 더 포함하며, 상기 제3 전압차는 상기 제1 해방 전압 및 상기 제2 해방 전압보다 낮은
크기를 가지는 것인 광변조 방법.
청구항 27
제22항에 있어서, 상기 제1 작동 전압은 상기 제2 작동 전압과 상이하고, 상기 제1 해방 전압은 상기 제2 해방
전압과 실질적으로 동일한 것인 광변조 방법.
청구항 28
제27항에 있어서, 상기 전압을 선택적으로 인가하는 단계는, 상기 제1 전기 도관과 제2 전기 도관 사이에 제1
전압차를 인가함으로써 상기 제1 표시 소자와 제2 표시 소자 중 한쪽만을 작동 상태로 하는 단계를 포함하며,
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공개특허 10-2009-0023687
상기 제1 전압은 상기 제1 작동 전압과 상기 제2 작동 전압 사이의 크기를 가지는 것인 광변조 방법.
청구항 29
제28항에 있어서, 상기 전압을 선택적으로 인가하는 단계는, 상기 제1 전압차를 인가한 후에 상기 제1 전기 도
관과 제2 전기 도관 사이에 제2 전압차를 인가함으로써 상기 제1 표시 소자와 제2 표시 소자의 양쪽 모두를 작
동 상태로 하는 단계를 더 포함하며, 상기 제2 전압차는 상기 제1 작동 전압 및 상기 제2 작동 전압보다 큰 크
기를 가지는 것인 광변조 방법.
청구항 30
제29항에 있어서, 상기 전압을 선택적으로 인가하는 단계는, 상기 제2 전압차를 인가한 후에 상기 제1 전기 도
관과 제2 전기 도관 사이에 제3 전압차를 인가함으로써 상기 제1 표시 소자와 제2 표시 소자의 양쪽 모두를 해
방 상태로 하는 단계를 더 포함하며, 상기 제3 전압차는 상기 제1 해방 전압보다 작은 크기를 가지는 것인 광변
조 방법.
청구항 31
각 화소가 복수의 표시 소자를 포함하는 것인 복수의 화소를 제공하는 단계;
화소의 제1 강도 범위용의 제1 비트 밀도를 제공하도록 상기 화소의 표시 소자들을 선택적으로 작동시키는
단계; 및
화소의 제2 강도 범위용의 제2 비트 밀도를 제공하도록 상기 화소의 표시 소자들을 선택적으로 작동시키는 단계
를 포함하되,
상기 제2 강도 범위는 상기 제1 강도 범위보다 높고, 상기 제2 비트 밀도는 상기 제1 비트 밀도보다 낮은 것인
화상 표시 방법.
청구항 32
제31항에 있어서, 상기 제1 비트 밀도는 양자화 레벨 당 적어도 2개의 양자화 단계를 포함하고, 상기 제2 비트
밀도는 양자화 레벨 당 적어도 1개의 양자화 단계를 포함하는 것인 화상 표시 방법.
청구항 33
제31항에 있어서, 상기 복수의 화소를 제공하는 단계는, 제1 전기 도관 및 해당 제1 전기 도관과는 전기적으로
절연되어 있는 제2 전기 도관과 연통시키도록 구성되어, 상기 제1 전기 도관과 제2 전기 도관 사이의 전압차가
제1 해방 전압보다 작은 크기를 가질 경우 해방 상태인 제1 표시 소자를 제공하는 단계; 및 상기 제1 전기 도관
및 상기 제2 전기 도관과 연통시키도록 구성되어, 상기 제1 전기 도관과 제2 전기 도관 사이의 전압차가 제2 해
방 전압보다 작은 크기를 가질 경우 해방 상태인 제2 표시 소자를 제공하는 단계를 포함하되, 상기 제1 작동 전
압은 상기 제2 작동 전압과 실질적으로 동일하고 상기 제1 해방 전압은 상기 제2 해방 전압과 상이하거나, 또는
상기 제1 작동 전압은 상기 제2 작동 전압과 상이하고 상기 제1 해방 전압은 상기 제2 해방 전압과 실질적으로
동일한 것인 화상 표시 방법.
청구항 34
제33항에 있어서, 상기 복수의 화소를 제공하는 단계는, 상기 제1 전기 도관 및 해당 제1 전기 도관과는 전기적
으로 절연되어 있는 제3 전기 도관과 연통시키도록 구성된 제3 표시 소자를 제공하는 단계; 및 상기 제1 전기
도관 및 해당 제 제1 전기 도관과는 전기적으로 절연되어 있는 제4 전기 도관과 연통시키도록 구성된 제4 표시
소자를 제공하는 단계를 더 포함하는 것인 화상 표시 방법.
청구항 35
제34항에 있어서, 제1 비트 밀도를 제공하도록 상기 표시 소자들을 선택적으로 작동시키는 단계는 상기 제1 표
시 소자와 제2 표시 소자를 선택적으로 작동/해방시키는 단계를 포함하고, 제2 비트 밀도를 제공하도록 상기 표
시 소자들을 선택적으로 작동시키는 단계는 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 표시 소자를 선택적으로 작동/해방시키
는 단계를 포함하는 것인 화상 표시 방법.
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공개특허 10-2009-0023687
청구항 36
제33항에 있어서, 상기 제1 표시 소자는 제1 광학적 활성 영역을 지니고, 상기 제2 표시 소자는 제2 광학적 활
성 영역을 지니며, 상기 제1 광학적 활성 영역/제2 광학적 활성 영역의 비는 정수/1과 대략 동일한 것인 화상
표시 방법.
청구항 37
제36항에 있어서, 상기 정수는 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9 또는 10인 것인 화상 표시 방법.
청구항 38
제36항에 있어서, 상기 정수는 3, 7, 15, 31, 63, 127 또는 255인 것인 화상 표시 방법.
청구항 39
제36항에 있어서, 상기 제3 표시 소자는 제3 광학적 활성 영역을 지니고, 상기 제4 표시 소자는 제4 광학적 활
성 영역을 지니며, 상기 제1 광학적 활성 영역:제2 광학적 활성 영역:제3 광학적 활성 영역:제4 광학적 활성 영
역의 비는 대략 1:7:2:4인 것인 화상 표시 방법.
청구항 40
제1 전기 도관을 형성하는 단계;
상기 제1 전기 도관과는 전기적으로 절연된 제2 전기 도관을 형성하는 단계;
제1 전기 도관 및 제2 전기 도관과 연통하도록 구성되어, 상기 제1 전기 도관과 제2 전기 도관 사이의 전압차가
제1 작동 전압보다 큰 크기를 가질 경우 작동 상태이고, 또, 상기 제1 전기 도관과 제2 전기 도관 사이의 전압
차가 제1 해방 전압보다 작은 크기를 가질 경우 해방 상태인 제1 표시 소자를 형성하는 단계; 및
상기 제1 전기 도관 및 제2 전기 도관과 연통하도록 구성되어, 상기 제1 전기 도관과 제2 전기 도관 사이의 전
압차가 제2 작동 전압보다 큰 크기를 가질 경우 작동 상태이고, 또, 상기 제1 전기 도관과 제2 전기 도관 사이
의 전압차가 제2 해방 전압보다 작은 크기를 가질 경우 해방 상태인 제2 표시 소자를 형성하는 단계를
포함하되,
상기 제1 작동 전압은 상기 제2 작동 전압과 실질적으로 동일하고 상기 제1 해방 전압은 상기 제2 해방 전압과
상이하거나, 또는 상기 제1 작동 전압은 상기 제2 작동 전압과 상이하고 상기 제1 해방 전압은 상기 제2 해방
전압과 실질적으로 동일한 것인 광변조기 장치의 제조방법.
청구항 41
제40항의 방법에 의해 제조된 광변조기 장치.
명 세 서
기 술 분 야
본 발명은 마이크로전자기계 시스템(MEMS: microelectromechanical system)에 관한 것이다.<1>
배 경 기 술
마이크로전자기계 시스템(MEMS)은 마이크로기계 부품, 액추에이터 및 전자 기기를 포함한다. 마이크로기계 부<2>
품은 기판 및/또는 증착된 재료층의 일부를 에칭해내거나 층들을 추가하여 전기 및 전자기계 장치를 형성하는
증착, 에칭 및/또는 다른 미세기계가공(micromachining) 공정들을 이용하여 형성될 수도 있다. MEMS 장치의 한
형태는 간섭계 변조기(interferometric modulator)라 불린다. 본 명세서에서 사용된 것처럼, 간섭계 변조기 또
는 간섭계 광 변조기(interferometric light modulator)라는 용어는 광학적 간섭의 원리를 이용하여 광을 선택
적으로 흡수 및/또는 반사하는 장치를 의미한다. 소정의 실시형태에 있어서, 간섭계 변조기는 1쌍의 도전판을
포함할 수도 있는 데, 상기 1쌍의 도전판의 어느 하나 또는 양쪽 모두가 전체 또는 부분적으로 투과형 및/또는
반사형일 수도 있고 적절한 전기 신호의 인가시 상대 운동을 할 수 있다. 특별한 실시형태에 있어서, 하나의
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공개특허 10-2009-0023687
도전판은 기판에 증착된 고정층을 포함할 수도 있고, 다른 하나의 도전판은 공기 간극(air gap)에 의해 고정층
과 분리된 금속막을 포함할 수도 있다. 본 명세서에서 보다 더 상세히 설명하는 바와 같이, 도전판의 상대적
위치에 의해서 간섭계 변조기로 입사되는 광의 광학적 간섭은 변화될 수 있다. 이러한 장치들의 적용 범위는
광범위한데, 기존의 제품들을 향상시키는 데 있어서, 그리고 아직 개발되지 않은 새로운 제품들을 만들어내는
데 있어서 이러한 유형의 장치 특성들이 사용될 수 있도록 이들 장치들의 특징들을 이용 및/또는 변경하는 것은
해당 기술 분야에서 유용할 것이다.
발명의 상세한 설명
본 발명의 시스템, 방법 및 장치는 각각 수개의 측면을 가지지만, 이들의 단일의 것이 그의 바람직한 속성을 단<3>
독으로 담당하는 것은 아니다. 본 발명의 범위를 제한하는 일없이, 그의 더욱 우수한 특징들을 이하 간단히 설
명할 것이다. 당업자는, 이들 설명을 고려한 후에, 특히 이하의 "실시예"란을 읽은 후에, 본 발명의 특징들이
다른 표시 장치보다 장점을 어떻게 제공하는 지를 이해할 수 있을 것이다.
소정의 실시형태에 있어서, 광변조기 장치(light modulator device)는 제1 전기 도관(first electrical<4>
conduit); 상기 제1 전기 도관과는 전기적으로 절연된 제2 전기 도관; 상기 제1 전기 도관 및 제2 전기 도관과
연통하도록 구성된 제1 표시 소자; 및 상기 제1 전기 도관 및 제2 전기 도관과 연통하도록 구성된 제2 표시 소
자를 포함한다. 상기 제1 표시 소자는 상기 제1 전기 도관과 제2 전기 도관 사이의 전압차가 제1 작동 전압보
다 큰 크기를 가질 경우 작동 상태이다. 또, 상기 제1 표시 소자는 상기 제1 전기 도관과 제2 전기 도관 사이
의 전압차가 제1 해방 전압(first release voltage)보다 작은 크기를 가질 경우 해방 상태이다. 상기 제2 표시
소자는 상기 제1 전기 도관과 제2 전기 도관 사이의 전압차가 제2 작동 전압보다 큰 크기를 가질 경우 작동 상
태이다. 또, 상기 제2 표시 소자는 상기 제1 전기 도관과 제2 전기 도관 사이의 전압차가 제2 해방 전압보다
작은 크기를 가질 경우 해방 상태이다. 상기 제1 작동 전압은 상기 제2 작동 전압과 실질적으로 동일하고 상기
제1 해방 전압은 상기 제2 해방 전압과 상이하거나, 또는 상기 제1 작동 전압은 상기 제2 작동 전압과 상이하고
상기 제1 해방 전압은 상기 제2 해방 전압과 실질적으로 동일하다.
소정의 실시형태에 있어서, 광변조기 장치는 전기 신호를 전달하는 제1 전달수단; 전기 신호를 전달하는 제2 전<5>
달수단; 및 상기 제1 전달 수단과 제2 전달 수단을 연통하도록 구성된, 광을 변조시키기 위한 제1 변조 수단
(first modulating means)을 포함한다. 상기 제2 전달 수단은 제1 전달 수단과는 전기적으로 절연되어 있다.
상기 제1 변조 수단은 상기 제1 전달 수단과 제2 전달 수단 사이의 전압차가 제1 작동 전압보다 큰 크기를 가질
경우 작동 상태이다. 또, 상기 제1 변조 수단은 상기 제1 전달 수단과 제2 전달 수단 사이의 전압차가 제1 해
방 전압보다 작은 크기를 가질 경우 해방 상태이다. 상기 제2 변조 수단은 상기 제1 전달 수단 및 제2 전달 수
단과 연통하도록 구성되어 있다. 상기 제2 변조 수단은 상기 제1 전달 수단과 제2 전달 수단 사이의 전압차가
제2 작동 전압보다 큰 크기를 가질 경우 작동 상태이다. 또, 상기 제2 변조 수단은 상기 제1 전달 수단과 제2
전달 수단 사이의 전압차가 제2 해방 전압보다 작은 크기를 가질 경우 해방 상태이다. 상기 제1 작동 전압은
상기 제2 작동 전압과 실질적으로 동일하고 상기 제1 해방 전압은 상기 제2 해방 전압과 상이하거나, 또는 상기
제1 작동 전압은 상기 제2 작동 전압과 상이하고 상기 제1 해방 전압은 상기 제2 해방 전압과 실질적으로 동일
하다.
소정의 실시형태에 있어서, 광을 변조시키는 방법(즉, 광변조 방법)은 제1 전기 도관 및 제2 전기 도관과 연통<6>
하도록 구성된 제1 표시 소자를 제공하는 단계; 상기 제1 전기 도관 및 제2 전기 도관과 연통하도록 구성된 제2
표시 소자를 제공하는 단계; 및 상기 제1 표시 소자 및 제2 표시 소자를 선택적으로 작동/해방하도록 상기 제1
및 제2 전기 도관에 전압을 선택적으로 인가하는 단계를 포함한다. 상기 제1 표시 소자는 상기 제1 전기 도관
과 제2 전기 도관 사이의 전압차가 제1 작동 전압보다 큰 크기를 가질 경우 작동 상태이다. 또, 상기 제1 표시
소자는 상기 제1 전기 도관과 제2 전기 도관 사이의 전압차가 제1 해방 전압보다 작은 크기를 가질 경우 해방
상태이다. 상기 제2 표시 소자는 상기 제1 전기 도관과 제2 전기 도관 사이의 전압차가 제2 작동 전압보다 큰
크기를 가질 경우 작동 상태이다. 또, 상기 제2 표시 소자는 상기 제1 전기 도관과 제2 전기 도관 사이의 전압
차가 제2 해방 전압보다 작은 크기를 가질 경우 해방 상태이다. 상기 제1 작동 전압은 상기 제2 작동 전압과
실질적으로 동일하고 상기 제1 해방 전압은 상기 제2 해방 전압과 상이하거나, 또는 상기 제1 작동 전압은 상기
제2 작동 전압과 상이하고 상기 제1 해방 전압은 상기 제2 해방 전압과 실질적으로 동일하다.
소정의 실시형태에 있어서, 화상(이미지) 표시 방법은 복수의 화소를 제공하는 단계; 화소의 제1 강도 범위용의<7>
제1 비트 밀도를 제공하도록 화소의 표시 소자들을 선택적으로 작동시키는 단계; 및 화소의 제2 강도 범위용의
제2 비트 밀도를 제공하도록 화소의 표시 소자들을 선택적으로 작동시키는 단계를 포함한다. 상기 각 화소는
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복수의 표시 소자를 포함한다. 또, 상기 제2 강도 범위는 상기 제1 강도 범위보다 높고, 상기 제2 비트 밀도는
상기 제1 비트 밀도보다 낮다.
소정의 실시형태에 있어서, 광변조기 장치의 제조 방법은 제1 전기 도관을 형성하는 단계, 상기 제1 전기 도관<8>
과는 전기적으로 절연된 제2 전기 도관을 형성하는 단계, 상기 제1 전기 도관 및 상기 제2 전기 도관과 연통하
도록 구성된 제1 표시 소자를 형성하는 단계 및 상기 제1 전기 도관 및 상기 제2 전기 도관과 연통하도록 구성
된 제2 표시 소자를 형성하는 단계를 포함한다. 상기 제1 표시 소자는 상기 제1 전기 도관과 제2 전기 도관 사
이의 전압차가 제1 작동 전압보다 큰 크기를 가질 경우 작동 상태이다. 또, 상기 제1 표시 소자는 상기 제1 전
기 도관과 제2 전기 도관 사이의 전압차가 제1 해방 전압보다 작은 크기를 가질 경우 해방 상태이다. 상기 제2
표시 소자는 상기 제1 전기 도관과 제2 전기 도관 사이의 전압차가 제2 작동 전압보다 큰 크기를 가질 경우 작
동 상태이다. 또, 상기 제2 표시 소자는 상기 제1 전기 도관과 제2 전기 도관 사이의 전압차가 제2 해방 전압
보다 작은 크기를 가질 경우 해방 상태이다. 상기 제1 작동 전압은 상기 제2 작동 전압과 실질적으로 동일하고
상기 제1 해방 전압은 상기 제2 해방 전압과 상이하거나, 또는 상기 제1 작동 전압은 상기 제2 작동 전압과 상
이하고 상기 제1 해방 전압은 상기 제2 해방 전압과 실질적으로 동일하다.
실 시 예
이하의 상세한 설명은 본 발명의 임의의 특정 실시예들에 관한 것이지만, 본 발명은 다양한 방법들로 구현될 수<44>
있다. 본 설명에 있어서, 전체적으로 동일한 구성 요소들은 동일한 참조 번호들로 표기된 도면을 참조한다.
이하의 설명으로부터 명백한 바와 같이, 실시예들은 동화상(예를 들어, 비데오)인지 또는 정지화상(예를 들어,
스틸 이미지(still image))인지, 그리고 문자인지 그림인지의 여부에 따라 이미지(즉, 화상)를 표시하도록 구성
되는 장치이면 어떠한 장치에서도 구현될 수도 있다. 더욱 상세하게는, 휴대폰, 무선 장치, PDA(personal data
assistant), 초소형 또는 휴대용 컴퓨터, GPS 수신기/네비게이션, 카메라, MP3 플레이어, 캠코더, 게임 콘솔
(game console), 손목 시계, 시계, 계산기, 텔레비젼 모니터, 평판형 디스플레이, 컴퓨터 모니터, 자동차 표시
장치(예를 들어, 주행 기록계 디스플레이 등), 콕핏 제어기(cockpit control) 및/또는 디스플레이, 카메라 뷰
디스플레이(예를 들어, 차량의 리어 뷰(rear view) 카메라의 디스플레이), 전자 사진, 전자 광고판 또는 간판,
프로젝터, 건축 구조물, 포장물 및 미술 구조물(예를 들어, 보석류에 대한 이미지의 디스플레이)을 포함하지만
이들로 한정되지는 않는 다양한 전자 장치들로 또는 그 다양한 전자 장치들과 관련되어 구현될 수 있는 것을 고
려할 수 있다. 본 명세서에서 설명하는 것들과 유사한 구조체의 MEMS 장치는 또한 전자 스위칭 장치에서와 같
이 표시장치(즉, 디스플레이)가 아닌 응용품에 사용될 수 있다.
실질적으로 동일한 작동 전압 및 상이한 해방 전압을 지니거나, 또는 실질적으로 동일한 해방 전압 및 상이한<45>
작동 전압을 지니는 한 세트의 표시 소자가 제공된다. 이들 히스테리시스(hysteresis) 창을 이용하는 동작은,
표시 소자가 공통 행 및 열 방향 드라이버를 공유할 수 있기 때문에, 전기 도관의 수의 저감을 가능하게 한다.
몇몇 실시예에 있어서, 상기 표시 소자의 광학적 활성 영역은 증강된 낮은 범위 비트 심도를 제공하도록 가중치
부여되어 있다. 몇몇 실시예에 있어서, 상기 표시 소자의 광학적 활성 영역의 비는 3, 7, 15, 31, 127 또는
255이다.
간섭계 MEMS 표시 소자를 포함하는 간섭계 변조기 디스플레이의 일 실시예가 도 1에 예시되어 있다. 이들 장치<46>
에 있어서, 화소들은 밝은 상태 또는 어두운 상태이다. 밝은("온(on) 또는 "열린") 상태에서, 표시 소자는 입
사되는 가시 광선의 많은 부분을 사용자에게 반사시킨다. 어두운("오프(off)" 또는 "닫힌") 상태에서, 표시 소
자는 입사되는 가시 광선을 사용자에게 거의 반사하지 않는다. 본 실시예에 따르면, "온" 및 "오프" 상태의 광
반사 특성은 역전될 수도 있다. MEMS 화소들은 선택된 색깔에서 우선적으로 반사하도록 구성되어 흑백 표시 외
에도 컬러 표시를 가능하게 한다.
도 1은 비쥬얼 디스플레이의 일련의 화소에 있어서 두 개의 인접한 화소들을 나타낸 등각 투상도인 데, 여기서<47>
각 화소는 MEMS 간섭계 변조기를 포함한다. 몇몇 실시예에서, 간섭계 변조기 디스플레이는 이들 간섭계 변조기
의 행/열 어레이를 포함한다. 각각의 간섭계 변조기는 서로 간에 가변적이고 제어 가능한 거리에 위치된 1쌍의
반사층을 포함하여 적어도 하나의 가변 치수를 가진 공진 광학 공동부(resonant optical cavity)를 형성한다.
일 실시예에 있어서, 반사층들 중 하나는 두 위치 사이에서 움직일 수도 있다. 여기서 이완 위치라고도 칭해지
는 제1위치에서, 이동 반사층은 고정된 부분 반사층으로부터 상대적으로 먼 거리에 위치한다. 여기서 작동 위
치라고도 칭해지는 제2위치에서, 이동 반사층은 상기 부분 반사층에 더 가까이 인접하여 위치한다. 두 반사층
에서 반사된 입사광은 이동 반사층의 위치에 따라서 보강 간섭 또는 소멸 간섭하여 각 화소에 대해 전체 반사
상태 또는 비반사 상태를 생성한다.
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도 1에 있어서 화소 어레이의 도시된 부분은 두 개의 인접한 간섭계 변조기(12a), (12b)를 포함한다. 왼쪽에<48>
위치한 간섭계 변조기(12a)에는 부분 반사층을 포함하는 광학 적층부(optical stack)(16a)로부터 소정 거리 떨
어진 이완 위치에 이동 반사층(14a)이 예시되어 있다. 오른쪽에 위치한 간섭계 변조기(12b)에는 광학 적층부
(16b)에 인접한 작동 위치에 이동 반사층(14b)이 예시되어 있다.
여기서 참조 기호로 표시되는 바와 같은 광학 적층부(16a), (16b)(일괄해서 광학 적층부(16)라 표기함)는 전형<49>
적으로 수 개의 융합층(fused layer)을 포함하는 데, 이들 융합층은 인듐 주석 산화물(indium tin oxide: IT
O)과 같은 전극층, 크롬과 같은 부분 반사층 및 투명 유전체를 포함할 수 있다. 따라서, 광학 적층부(16)는 전
도성이고, 부분적으로 투명하며, 부분적으로 반사성이고, 예를 들어 하나 이상의 상기 층들을 투명 기판(20) 위
에 증착함으로써 제조될 수 있다. 부분 반사층은 다양한 금속류, 반도체류 및 유전체류와 같은 부분 반사성인
다양한 재료들로 형성될 수 있다. 부분 반사층은 하나 이상의 재료 층으로 형성될 수 있는 데, 각각의 층은 단
일 재료 또는 조합된 재료로 형성될 수 있다.
몇몇 실시예에서는, 이하에 더욱 설명되는 바와 같이, 광학 적층부(16)의 층들은 평행 스트립(strip)들로 패터<50>
닝되고, 표시 장치 내에서 행방향 전극들을 형성할 수도 있다. 이동 반사층(14a), (14b)은 기둥(18) 사이에 증
착되는 중재 희생 재료 및 기둥(18)의 상부면에 증착된 증착 금속층 또는 증착 금속층들(광학 적층부(16a),
(16b)의 횡방향 전극에 직교)로 이루어진 일련의 평행 스트립들로서 형성될 수도 있다. 희생 재료를 에칭하여
제거했을 때, 이동 반사층(14a), (14b)은 광학 적층부(16b), (16b)로부터 소정의 간극(19)만큼 분리된다. 알루
미늄과 같은 고 전도성·반사성 재료가 반사층(14)으로 사용될 수 있고, 이들 스트립들은 표시 장치에서 열방향
전극들을 형성할 수도 있다.
도 1에 있어서 화소(12a)로 표시된 바와 같이, 전압이 인가되지 않을 경우, 이동 반사층(14a)은 기계적으로 이<51>
완 상태인 채로, 간극, 즉 공동부(19)가 이동 반사층(14a)과 광학 적층부(16a) 사이에서 유지된다. 그러나, 선
택된 행 및 열에 전위차가 인가될 경우, 대응하는 화소의 행방향 전극과 열방향 전극의 교차점에 형성된 커패시
터는 충전되고, 정전기력은 전극들을 함께 당긴다. 전압이 충분히 높다면, 이동 반사층(14)은 변형이 일어나
광학 적층부(16)에 대해서 힘을 가한다. 도 1의 오른쪽에 위치한 화소(12b)로 표시된 바와 같이, 광학 적층부
(16) 내의 유전체 층(이 도면에서는 도시 생략)은 단락이 방지되어 층(14)과 층(16) 간의 이격 거리를
조절한다. 이러한 거동은 인가된 전위차의 극성에 상관없이 동일하다. 이와 같이 해서, 반사 화소 상태 대 비
반사 화소 상태를 조절할 수 있는 행/열방향 작동은 종래의 LCD 및 다른 디스플레이 기술에서 사용되는 것과 여
러 면에서 유사하다.
도 2 내지 도 5b는 디스플레이 적용에 있어서 간섭계 변조기들의 어레이를 사용하기 위한 하나의 예시적 과정<52>
및 시스템을 예시한다.
도 2는 본 발명의 측면들을 포함할 수도 있는 전자 장치의 일 실시예를 예시한 시스템 블록도이다. 예시적 실<53>
시예에 있어서, 전자 장치는 프로세서(21)를 포함하는 데, 이 프로세서는 ARM, 펜티엄(Pentium)(등록상표), 펜
티엄 II(등록상표), 펜티엄 III(등록상표), 펜티엄 IV(등록상표), 펜티엄(등록상표) Pro, 8051, MIPS(등록상
표), Power PC(등록상표), ALPHA(등록상표)와 같은 범용 단일 칩 프로세서 또는 멀티 칩 마이크로 프로세서, 또
는 디지털 신호 프로세서, 마이크로 제어기와 같은 특수 목적의 마이크로 프로세서, 또는 프로그래밍 가능한 게
이트 어레이일 수도 있다. 종래 기술에서와 같이, 상기 프로세서(21)는 하나 이상의 소프트웨어 모듈을 실행하
도록 구성될 수도 있다. 오퍼레이팅 시스템(operating system)의 실행과 더불어, 상기 프로세서는 웹 브라우저
(web browser), 전화 애플리케이션(application), 이메일 프로그램 또는 기타 임의의 소프트웨어 애플리케이션
을 비롯한 하나 이상의 소프트웨어 애플리케이션을 실행하도록 구성될 수도 있다.
일 실시예에 있어서, 프로세서(21)는 또한 어레이 드라이버(22)와 연통하도록 구성된다. 일 실시예에 있어서,<54>
어레이 드라이버(22)는 디스플레이 어레이 또는 패널(30)에 신호들을 제공하는 행방향 드라이버 회로(24) 및 열
방향 드라이버 회로(26)를 포함한다. 도 1에 예시된 어레이의 단면은 도 2의 1-1 라인에 의해 도시된다. MEMS
간섭계 변조기에 대해서, 행/열방향 작동 프로토콜은 도 3에 도시된 이들 장치의 히스테리시스 특성을 이용할
수도 있다. 예를 들어, 이완 상태에서부터 작동 상태로 이동층을 변형시키기 위해 10 볼트 전위차가 필요할 수
도 있다. 그러나, 이러한 값으로부터 전압이 감소될 경우, 전압이 10 볼트 미만으로 다시 떨어질 때에 이동층
은 그 상태를 유지한다. 도 3의 예시적 실시예에 있어서, 전압이 2 볼트 미만으로 떨어질 때까지 이동층은 완
전히 이완되지 않는다. 이와 같이 해서, 도 3에 예시된 예에서 약 3 볼트 내지 7 볼트의 인가된 전압의 창이
존재하고, 이 범위 내에서 장치가 이완 또는 작동 상태에서 안정적이다. 이것을 여기서는 "히스테리시스 창"
또는 "안정성 창"이라고 칭한다. 도 3의 히스테리시스 특성을 가지는 디스플레이 어레이에 대해서, 행방향 스
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트로빙(strobing) 동안 스트로빙된 행에 있는 작동될 화소들이 약 10 볼트의 전압차에 노출되고, 이완될 화소들
이 0 볼트에 근접한 전압차에 노출되도록 행/열방향 작동 프로토콜을 설계할 수 있다. 스트로빙 후에, 화소들
은 약 5 볼트의 정상 상태 전압차에 노출되므로, 이들은 행방향 스트로빙이 화소들을 어떤 상태에 두었던지 그
상태를 유지하게 된다. 이러한 예에서, 각 화소는, 기록된 후에, 3 볼트 내지 7 볼트의 "안정성 창" 내에서 전
위차를 보인다. 이러한 특성으로 작동 또는 이완의 기존 상태에서 동일한 인가 전압 조건하에서 도 1에 예시된
화소 설계는 안정화된다. 간섭계 변조기의 각 화소는 작동 상태인지 혹은 이완 상태인지에 따라 본질적으로 고
정 반사층 및 이동 반사층에 의해 형성된 커패시터이기 때문에, 이러한 안정한 상태는 전력 손실이 거의 없이
히스테리시스 창 내의 전압에서 유지될 수 있다. 인가된 전위가 고정되어 있다면 화소로 들어가는 전류 흐름은
실질적으로 없다.
전형적인 응용에 있어서, 제1행에 있는 원하는 세트의 작동 화소에 따라 열방향 전극 세트를 어서트(assert)함<55>
으로써 표시 프레임을 생성할 수도 있다. 다음에, 행방향 펄스가 제1행의 전극에 인가되어 어서트된 열방향 라
인에 대응하는 화소를 작동시킨다. 그 후, 어서트된 세트의 열방향 전극은 제2행에 있는 원하는 세트의 작동
화소에 대응하도록 변경된다. 이어서, 펄스가 제2행의 전극에 인가되어, 어서트된 열방향 전극들에 따라서 제2
행에 있는 적절한 화소들을 작동시킨다. 제1행의 화소들은 제2행의 펄스의 영향을 받지 않고 제1행의 펄스 동
안 그들이 설정되었던 상태로 유지된다. 이것은 프레임을 작성하기 위하여 일련의 전체 행들에 대해서 순차적
으로 반복될 수도 있다. 일반적으로, 이러한 과정을 초당 원하는 프레임 수만큼 계속적으로 반복함으로써 프레
임들은 새로운 표시 데이터로 리프레시(refresh) 및/또는 갱신된다. 더불어, 표시 프레임을 작성하는 화소 어
레이의 행방향 전극 및 열방향 전극을 구동하기 위한 매우 다양한 프로토콜은 잘 알려져 있고, 이것은 본 발명
과 관련하여 사용될 수도 있다.
도 4, 도 5a 및 도 5b는 도 2의 3×3 어레이 위에 표시 프레임을 생성하기 위한 하나의 가능한 작동 프로토콜을<56>
예시한다. 도 4는 도 3의 히스테리시스 곡선을 나타내는 화소를 위해 사용될 수도 있는 가능한 세트의 행방향
전압 레벨들 및 열방향 전압 레벨들을 예시한다. 도 4의 실시예에서, 화소를 작동시키기 위해서는 적절한 열을
-Vbias로 설정하고 적절한 행을 ΔV로 설정하는 것이 필요한데, -Vbias 및 ΔV는 각각 -5 볼트 및 5 볼트에 대
응한다. 화소에 대한 볼트 전위차가 0이 되는 동일한 ΔV로 적절한 행을 설정하고 Vbias로 적절한 열을 설정함
으로써 화소의 이완을 수행한다. 행방향 전압이 0볼트로 유지되는 이들 행에서, 열이 -Vbias이거나 Vbias인 것에
상관없이, 화소들은 그들의 원래 상태가 어떠하든 안정하다. 도 4에 또한 예시된 바와 같이, 앞서 설명한 것과
반대 극성의 전압이 사용될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 예를 들어, 화소를 작동시키는 것은 적절
한 열을 Vbias로 설정하고 적절한 행을 -ΔV로 설정하는 것을 수반할 수 있다. 본 실시예에 있어서, 화소에 대
한 0 볼트 전위차를 생성하는 동일한 -ΔV로 적절한 행을 설정하고 -Vbias로 적절한 열을 설정함으로써 화소의 이
완을 수행한다.
도 5b는 도 5a에 예시된 디스플레이 구성으로 되는 도 2의 3×3 어레이에 인가되는 일련의 행방향 신호들 및 열<57>
방향 신호들을 나타낸 타이밍도로서, 여기서 작동 화소들은 비반사적이다. 도 5a에 예시된 프레임을 기록하기
에 앞서, 화소들은 임의의 상태에 있을 수 있고, 이 예에서, 모든 행들은 0볼트이고 모든 열들은 5 볼트이다.
이들 인가 전압에 의하면, 화소는 모두 그들의 기존의 작동 또는 이완 상태에서 안정하다.
도 5a의 프레임에서, (1,1), (1,2), (2,2), (3,2) 및 (3,3) 화소들이 작동된다. 이것을 달성하기 위해서, 제1<58>
행에 대한 "라인 시간"(line time) 동안 제1열과 제2열은 -5볼트로 설정되고, 제3열은 5볼트로 설정된다. 이
것은 임의의 화소들의 상태를 변화시키지 않는 데, 그 이유는 모든 화소들이 3볼트 내지 7볼트 안정성 창에 유
지되기 때문이다. 다음에, 제1행은 0볼트에서 5볼트까지 가고 다시 0볼트로 가는 펄스로 스트로빙된다. 이것
은 (1,1) 화소 및 (1,2) 화소를 작동시키고 (1,3) 화소를 이완시킨다. 어레이의 다른 화소들은 영향을 받지 않
는다. 원하는 제2행을 설정하기 위하여, 제2열을 -5볼트로 설정하고 제1열 및 제3열을 5볼트로 설정한다. 다
음에, 제2행에 인가된 동일한 스트로브(strobe)는 (2,2) 화소를 작동시키고 (2,1) 및 (2,3) 화소를 이완시킬 것
이다. 재차, 어레이의 다른 화소들은 영향받지 않는다. 제3행은 제2열 및 제3열을 -5볼트로 설정하고 제1열을
5볼트로 설정함으로써 마찬가지로 설정된다. 제3행의 스트로브는 도 5a에 도시된 바와 같이 제3행의 화소들을
설정한다. 프레임을 기록한 후에, 행방향 전위들은 0이고 열방향 전위들은 5볼트 또는 -5볼트로 유지될 수 있
게 되어 디스플레이는 도 5a의 배열에서 안정하다. 수십 또는 수백 개의 행과 열들을 가진 어레이들에 대해서
동일한 과정을 이용할 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 행 및 열을 작동시키는 데 사용되는 타이밍, 수
순 및 전압 레벨들은 상기의 일반적인 원리 범위 안에서 매우 다양할 수 있고, 상기 예는 다만 예시적인 것에
불과하며, 다른 작동 전압 방법이 여기에서 설명되는 시스템 및 방법과 함께 사용될 수 있다는 것을 또한 이해
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할 수 있을 것이다.
도 6a 및 도 6b는 표시 장치(40)의 실시예를 예시한 시스템 블록도이다. 예를 들어, 표시 장치(40)는 이동 전<59>
화기 또는 휴대 전화기일 수 있다. 그러나, 표시 장치(40)의 동일한 구성 요소들 또는 그것의 약간의 변형으로
는 또한 텔레비전 및 휴대용 미디어 플레이어와 같은 다양한 유형의 표시 장치를 들 수 있다.
표시 장치(40)는 하우징(housing)(41), 디스플레이(30), 안테나(43), 스피커(45), 입력 장치(48) 및 마이크<60>
(46)를 포함한다. 일반적으로 하우징(41)은 사출 성형 및 진공 성형을 비롯한 당업자들에게 잘 알려진 다양한
제조 과정들 중의 어떤 것으로 형성된다. 또한, 하우징(41)은 플라스틱, 금속, 유리, 고무 및 세라믹, 또는 이
들의 조합을 포함하지만, 이들로 한정되지 않는 다양한 재료 중의 어떤 것으로 만들어질 수도 있다. 일 실시예
에 있어서, 하우징(41)은 다른 색깔을 가지거나 다른 로고, 그림 또는 기호를 포함하는 분리 가능한 부분들과
호환될 수도 있는 분리 가능한 부분(도시 생략)을 포함한다.
예시적인 표시 장치(40)의 디스플레이(30)는 여기에서 설명되는 바와 같이, 쌍안정 디스플레이를 비롯한 다양한<61>
디스플레이들 중의 어떤 것일 수도 있다. 다른 실시예에 있어서, 당업자들에게 잘 알려진 바와 같이, 디스플레
이(30)는 앞서 설명한 바와 같은 플라즈마, EL, OLED, STN LCD 또는 TFT LCD와 같은 평판형 디스플레이, 또는
CRT나 다른 종류의 관(tube) 장치와 같은 비평판형(non-flat-panel) 디스플레이를 포함한다. 그러나, 본 실시
예를 설명할 목적으로, 상기 디스플레이(30)는 여기에서 설명하는 바와 같이 간섭계 변조기를 포함한다.
예시적 표시 장치(40)의 일 실시예의 구성 요소들은 도 6b에 개략적으로 도시되어 있다. 도시된 예시적 표시<62>
장치(40)는 하우징(41)을 포함하고 적어도 그 속에 부분적으로 수용된 추가적인 구성 요소들을 포함할 수 있다.
예를 들어, 일 실시예에 있어서, 예시적 표시 장치(40)는 트랜스시버(transceiver)(47)에 결합된 안테나(43)를
포함하는 네트워크 인터페이스(27)를 포함한다. 트랜스시버(47)는 컨디셔닝 하드웨어(conditioning
hardware)(52)에 연결된 프로세서(21)에 접속된다. 컨디셔닝 하드웨어(52)는 신호를 조절(예를 들어, 신호를
필터링)하도록 구성될 수도 있다. 컨디셔닝 하드웨어(52)는 스피커(45) 및 마이크(46)에 연결된다. 프로세서
(21)는 입력 장치(48) 및 드라이버 제어기(29)에도 연결된다. 드라이버 제어기(29)는 프레임 버퍼(frame
buffer)(28)에 그리고 어레이 드라이버(22)에 결합되고, 어레이 드라이버(22)는 이어서 디스플레이 어레이(30)
에 결합된다. 전력 공급 장치(50)는 특정한 예시적 표시 장치(40) 설계에 요구되는 바와 같이 모든 구성 요소
들에 전력을 제공한다.
네트워크 인터페이스(27)는 예시적 표시 장치(40)가 네트워크를 통하여 하나 이상의 장치와 연통할 수 있도록<63>
안테나(43) 및 트랜스시버(47)를 포함한다. 일 실시예에 있어서, 네트워크 인터페이스(27)는 프로세서(21)의
요건을 경감할 수 있는 몇몇 처리 능력도 가질 수 있다. 안테나(43)는 신호들을 송수신하기 위해, 당업자들에
게 알려진 소정의 안테나이다. 일 실시예에 있어서, 안테나는 IEEE 802.11(a), (b) 또는 (g)를 비롯한 IEEE
802.11 표준에 따라서 RF 신호들을 송수신한다. 다른 실시예에 있어서, 안테나는 블루투스(BLUETOOTH) 표준에
따라서 RF 신호들을 송수신한다. 이동 전화기의 경우, 안테나는 CDMA, GSM, AMPS 또는 무선 이동 전화 네트워
크 내에서 연통하기 위해 사용되는 기타 공지된 신호들을 수신하도록 설계되어 있다. 트랜스시버(47)는 안테나
(43)로부터 수신된 신호들을 미리 처리하여 이들 신호가 프로세서(21)에 의해 수신되고 나아가 조작될 수도 있
다. 트랜스시버(47)는 프로세서(21)로부터 수신된 신호들도 처리하여 이들 신호가 안테나(43)를 거쳐서 예시적
표시 장치(40)로부터 전송될 수 있게 한다.
대안적인 실시예에 있어서, 트랜스시버(47)는 수신기로 대체될 수 있다. 또 다른 대안적인 실시예에 있어서,<64>
네트워크 인터페이스(27)는 프로세서(21)에 전송될 이미지 데이터를 저장하고 생성할 수 있는 이미지 소스 혹은
이미지 공급원(image source)으로 대체될 수 있다. 예를 들어, 이미지 공급원은 이미지 데이터를 포함하는 디
지털 비디오 디스크(DVD: digital video disc)나 하드 디스크 드라이브, 또는 이미지 데이터를 생성하는 소프트
웨어 모듈일 수 있다.
프로세서(21)는 일반적으로 예시적 표시 장치(40)의 전체적인 동작을 제어한다. 프로세서(21)는 네트워크 인터<65>
페이스(27) 또는 이미지 공급원으로부터의 압축된 이미지 데이터와 같은 데이터를 수신하고, 해당 데이터를 원
천 이미지 데이터(raw image data)로 또는 원천 이미지 데이터로 즉시 처리할 수 있는 포맷으로 처리한다. 그
후, 프로세서(21)는 처리된 데이터를 드라이버 제어기(29)로 또는 저장을 위해 프레임 버퍼(28)로 보낸다. 원
천 데이터는 전형적으로 이미지 내의 각각의 위치에서 이미지 특성들을 식별하는 정보를 의미한다. 예를 들어,
이러한 이미지 특성들은 색깔, 색의 순도(saturation), 계조 레벨(gray scale level)을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 프로세서(21)는 마이크로 제어기, CPU, 또는 예시적 표시 장치(40)의 동작을 제어하는 논리 유<66>
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닛을 포함한다. 컨디셔닝 하드웨어(52)는 일반적으로 신호들을 스피커(45)에 전송하기 위해, 그리고 마이크
(46)로부터 신호들을 수신하기 위해 증폭기들 및 필터들을 포함한다. 컨디셔닝 하드웨어(52)는 예시적 표시 장
치(40) 내에 있는 별도의 구성 요소일 수도 있거나 프로세서(21) 혹은 기타 구성 요소들 내에 내장되어 있을 수
도 있다.
드라이버 제어기(29)는 프로세서(21)에서 생성된 원천 이미지 데이터를 프로세서(21)로부터 혹은 프레임 버퍼<67>
(28)로부터 직접 취하여 어레이 드라이버(22)로 고속 전송하기 위해 원천 이미지 데이터를 적절하게
재포맷한다. 특히, 드라이버 제어기(29)는 원천 이미지 데이터를 래스터 유사 포맷(raster like format)을 가
진 데이터 흐름으로 재포맷하여 디스플레이 어레이(30)에 걸쳐 스캐닝하기에 적합한 시간 순서를 가진다. 다음
에, 드라이버 제어기(29)는 포맷된 정보를 어레이 드라이버(22)에 보낸다. 비록 LCD 제어기와 같은 드라이버
제어기(29)가 독립형 집적 회로(stand-alone Integrated Circuit(IC))로서 시스템 프로세서(21)와 종종 관련되
지만, 이러한 제어기들은 다양한 방법들로 구현될 수도 있다. 이들은 프로세서(21) 내에 하드웨어로서 삽입될
수 있거나, 소프트웨어로서 프로세서(21) 내에 삽입될 수도 있거나, 또는 어레이 드라이버(22)와 함께 하드웨어
에 완전히 일체화될 수도 있다.
전형적으로, 어레이 드라이버(22)는 포맷된 정보를 드라이버 제어기(29)로부터 수신하고 디스플레이의 x-y 매트<68>
릭스 화소들로부터 나온 수백, 때로는 수천개의 인출선에 초당 여러번 인가되는 병렬 세트의 파형들로 비디오
데이터를 재포맷한다.
일 실시예에 있어서, 드라이버 제어기(29), 어레이 드라이버(22) 및 디스플레이 어레이(30)는 여기서 설명하는<69>
디스플레이들의 유형 중 어느 것에나 적합하다. 예를 들어, 일 실시예에 있어서, 드라이버 제어기(29)는 종래
의 디스플레이 제어기 또는 쌍안정 디스플레이 제어기(예를 들어, 간섭계 변조기 제어기)이다. 다른 실시예에
있어서, 어레이 드라이버(22)는 종래의 드라이버 또는 쌍안정 디스플레이 드라이버(예를 들어, 간섭계 변조기
디스플레이)이다. 일 실시예에 있어서, 드라이버 제어기(29)는 어레이 드라이버(22)와 일체형이다. 이러한 일
실시예는 이동 전화기, 시계 및 기타 소형 디스플레이와 같은 고집적 시스템에 있어서 일반적이다. 또 다른 실
시예에 있어서, 디스플레이 어레이(30)는 전형적인 디스플레이 어레이 또는 쌍안정 디스플레이 어레이(예를 들
어, 간섭계 변조기들의 어레이를 포함하는 디스플레이)이다.
입력 장치(48)는 사용자로 하여금 예시적 표시 장치(40)의 동작을 제어하도록 한다. 일 실시예에 있어서, 입력<70>
장치(48)는 QWERTY 키보드 또는 전화기 키패드와 같은 키패드, 버튼, 스위치, 터치 센스 스크린, 또는 감압 또
는 감열 막을 포함한다. 일 실시예에 있어서, 마이크(46)는 예시적 표시 장치(40)에 대한 입력 장치이다. 이
장치에 데이터를 입력하기 위해 마이크(46)가 사용되는 경우, 음성 명령들이 사용자에 의해 제공되어 예시적 표
시 장치(40)의 동작들을 제어할 수도 있다.
전력 공급 장치(50)는 당업계에 잘 알려져 있는 다양한 에너지 저장 장치들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 일<71>
실시예에 있어서, 전력 공급 장치(50)는 니켈-카드뮴 배터리 또는 리듐 이온 배터리와 같은 충전용 배터리이다.
다른 실시예에 있어서, 전력 공급 장치(50)는 재생 가능 에너지 원, 커패시터, 또는 플라스틱 태양 전지, 태양
전지 페인트를 비롯한 태양 전지이다. 다른 실시예에 있어서, 전력 공급 장치(50)는 벽에 붙은 콘센트에서 전
력을 받도록 구성된다.
몇몇 실시예에 있어서, 제어 프로그램은 앞서 설명한 바와 같이 전자 디스플레이 시스템 안의 몇몇 장소에 위치<72>
될 수 있는 드라이버 제어기 내에 존재한다. 몇몇 실시예에 있어서, 제어 프로그램은 어레이 드라이버(22) 내
에 존재한다. 당업자들은 앞서 설명한 최적화들을 다수의 하드웨어 및/또는 소프트웨어 구성 요소들 및 다양한
형태로 구현할 수도 있음을 인식할 것이다.
앞서 설명한 원리들에 따라서 작동되는 간섭계 변조기의 상세한 구조는 매우 다양할 수 있다. 예를 들어, 도<73>
7a 내지 도 7e는 이동 반사층(14) 및 그의 지지 구조체들의 다섯 개의 서로 다른 실시예를 나타낸다. 도 7a는
도 1의 실시예의 단면도인데, 여기서 금속 재료(14)의 스트립은 직교 방향으로 연장된 지지부(18) 상에 증착된
다. 도 7b에 있어서, 이동 반사층(14)은 줄(tether)(32) 상에 단지 모서리에서 지지부에 부착된다. 도 7c에
있어서, 이동 반사층(14)은 가요성 금속을 포함할 수도 있는 변형가능한 층(34)으로부터 매달려 있다. 변형가
능한 층(34)은 해당 변형가능한 층(34) 주변의 기판(20)에 직접적으로 혹은 간접적으로 연결된다. 여기서, 이
들 연결부를 지지 기둥이라 칭한다. 도 7d에 나타낸 실시예는 변형가능한 층(34)이 안착되는 지지 기둥 플러그
(42)를 가진다. 이동 반사층(14)은 도 7a 내지 도 7c에 있어서와 마찬가지로 공동부 위에 매달린 채 유지되지
만, 변형가능한 층(34)은 해당 변형가능한 층(34)과 광학 적층부(16) 사이의 구멍들을 채움으로써 지지 기둥을
형성하지 않는다. 오히려, 지지 기둥은 평탄화 재료로 형성되고, 이것은 지지 기둥 플러그(42)를 형성하는 데
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이용된다. 도 7e에 나타낸 실시예는 도 7d에 나타낸 실시예에 의거한 것이지만, 도 7a 내지 도 7c에 나타낸 실
시예뿐만 아니라 도시하지 않은 추가적인 실시예의 어느 것과 함께 작용하도록 적합화될 수도 있다. 도 7e에
나타낸 실시예에 있어서, 금속 또는 기타 전도성 재료의 필요 이상의 층은 버스 구조체(44)를 형성하는 데 이용
되어왔다. 이것에 의해 신호가 간섭계 변조기의 이면을 따라 송신될 수 있고, 그렇지 않으면 기판(20) 상에 형
성될 수도 있는 다수의 전극을 제거할 수 있다.
도 7a 내지 도 7e에 나타낸 것과 같은 실시예에 있어서, 간섭계 변조기는 직시형(direct-view) 장치로서 기능하<74>
는 데, 여기서 이미지들은 투명 기판(20)의 앞면 쪽으로부터 보이고 그 반대편에는 변조기들이 배열되어 있다.
이들 실시예에 있어서, 반사층(14)은 변형가능한 층(34)을 비롯한, 기판(20)의 반대편의 반사층 쪽에 있는 간섭
계 변조기의 일부를 광학적으로 차단한다. 이것에 의해 상기 차단된 영역은 화질에 나쁜 영향을 미치는 일없이
구성되고 작동될 수 있게 된다. 이러한 차단은 도 7e의 버스 구조체(44)를 가능하게 하여, 어드레싱
(addressing) 및 그 어드레싱에 기인한 움직임과 같은 변조기의 전자 기계적 특성들로부터 상기 변조기의 광학
적 특성들을 분리할 수 있는 능력을 제공한다. 이 분리 가능한 변조기 구조체로 인해 해당 변조기의 광학적 측
면들 및 전자 기계적 측면들에 대해 사용되는 재질들 및 구조 설계가 선택되어 서로 독립적으로 기능하게 된다.
더욱이, 도 7c 내지 도 7e에 도시된 실시예는 변형가능한 층(34)에 의해 수행되는, 기계적 특성들로부터 반사층
(14)의 광학적 특성들을 분리함으로써 얻어지는 추가적인 장점들을 가진다. 이로 인해 반사층(14)에 사용되는
구조 설계 및 재질들이 광학적 특성에 대해서 최적화되고, 변형가능한 층(34)에 사용되는 구조 설계 및 재질들
이 원하는 기계적 특성에 대해서 최적화된다.
도 8은 화소 당 하나의 간섭계 변조기를 포함하는 흑백 디스플레이(표시장치)의 일 실시예를 예시하고 있고, 변<75>
조기의 "온" 혹은 "오프" 상태는 화소 당 1비트의 데이터의 값에 의거해서 설정된다. 화소는 하나의 열방향 도
관과 하나의 행방향 도관과 연통하도록 구성되어 있다. 그레이스케일 이미지는 화소 당 수 비트의 데이터를 포
함할 수 있다. 예를 들어, "3-비트" 그레이스케일 디스플레이는 각 화소에 할당될 수 있는 그레이의 8(2
3
)개의
색조(shade) 중 하나에 대응하는 화소 당 3비트의 데이터를 포함한다. 상기 화소는 하나의 열방향 도관과 3개
의 행방향 도관과 연통하도록 구성되어 있다. 도 9는 각 화소(90)에 대해 3개의 간섭계 변조기(91), (92),
(93)를 포함하는 3-비트 그레이스케일 이미지를 표시하는 디스플레이의 예시적인 실시예를 나타내고 있다. 8개
의 색조를 얻기 위해서, 3개의 변조기(91), (92), (93)는 다양한 크기 비에 따라 광을 반사한다. 이러한 하나
의 실시예에 있어서, 각각의 간섭계 변조기(91), (92), (93)는 4:2:1의 비에 따라 변하는 반사성 표면 영역을
지니는 미러를 포함한다. 하나의 미러 혹은 변조기의 반사성 부분은 "마주 대하는 부분"(subtending)으로서 지
칭될 수도 있다. 예를 들어, 4:2:1 실시예 중에서 하나의 표면 영역을 가진 미러는 화소의 약 1/7과 마주 대한
다. 하나의 화소 중의 특정 색조는, 3비트의 데이터의 대응하는 비트의 2진값에 의거해서 "온" 혹은 "오프" 상
태로 각 변조기를 설정함으로써 얻어진다.
도 10은, 화소(100)가 적색 간섭계 변조기(101), (102), (103), 녹색 간섭계 변조기(104), (105), (106) 및 청<76>
색 간섭계 변조기(101), (102), (103)의 군을 포함하는 것을 제외하고, 도 9의 그레이스케일 화소(90)와 마찬가
지로 작용하는 화소(100)를 지니는 컬러 디스플레이의 일 실시예를 나타내고 있다. 예를 들어, 화소(100)는 3
비트의 3개의 군이 각각 3색에 대응하는 9-비트 신호에 대해 응답한다. 다른 예로서, 12-비트 컬러 디스플레이
에 있어서, 12 비트 중 4 비트는 적색, 녹색 혹은 청색 간섭계 변조기에 의해 생성되는 적색, 녹색 및 청색의
16가지 강도의 각각에 대응한다.
이러한 그레이스케일 혹은 컬러 디스플레이는 흑백 디스플레이를 어드레스하는 것보다 더욱 많은 표시소자를 지<77>
닌다. 그레이 혹은 컬러 디스플레이의 이러한 실시예에 대해서 이들 표시 소자를 어드레스하기 위해서, 표시
제어에 대한 도관의 수(또는 "드라이버 접속부" 혹은 "어드레스 라인" 또는 "리드"(lead))는 전형적으로 증가한
다. 예를 들어, 도 11은 3-비트 그레이스케일 디스플레이의 일 실시예를 예시하고 있고, 여기서, 화소는 3개의
행이 각각 변조기의 3개의 하위행으로 더욱 나뉜 상태의 3×3 형태이다. 이러한 실시예는 3×3 흑백 디스플레
이에 사용되는 6개의 드라이버 접속부보다는 오히려 총 12개의 드라이버 접속부에 대해 9개의 행 드라이버 접속
부와 3개의 열 드라이버 접속부를 지닌다. 드라이버 접속부의 수를 저감시키는 하나의 방법은, 단일의 행방향
도관, 예를 들어(도 12에 예시된 바와 같이), 전술한 3-비트 그레이스케일 실시예에서의 3개의 하위행과 연통하
고, 변조기의 군의 선택된 서브셋(subset)의 상태를 변화시키는 신호에 의해 상기 변조기의 군을 구동시키도록
해당 변조기의 군을 구성하는 것이다.
소정의 실시예에 있어서, 각각의 하위행의 간섭계 변조기는, 단일의 행방향 도관과 연통되도록 구성되어 있는<78>
하위행의 군이 개별적으로 어드레스될 수 있도록 변화되는 작동 전압 및 해방 전압을 가질 수 있다. 도 13은
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네스트된 안정성 창을 지닌 3개의 간섭계 변조기의 예시적인 일 실시예를 나타내고 있는 이동 미러 위치 대 인
가된 양 및 음 전압의 선도이다. 본 명세서에서 이용되는 바와 같이, "네스트된"이란 용어는 작동 전압과 해방
전압의 양쪽 모두에서 이용할 수 있는 차이를 의미한다. 자취(trace)(802)로 표시된 최내 네스트된 히스테리시
스 창은 8 볼트 및 4 볼트의 크기를 각각 지니는 작동 전압 및 해방 전압을 가진다. 이 히스테리시스 창은 자
취(804)로 표시된 히스테리시스 창 내에 네스트되고, 자취(806)로 표시된 히스테리시스 창 내에 네스트된다.
자취(804)로 표시된 다음에 네스트된 히스테리시스 창은 각각 10 볼트 및 2 볼트의 크기를 지닌 작동 전압 및
해방 전압을 가진다. 이 히스테리시스 창은 자취(806)로 표시된 히스테리시스 창 내에 네스트된다. 자취(80
6)로 표시된 최외 히스테리시스 창은 각각 12 볼트 및 0 볼트의 크기를 지닌 작동 전압 및 해방 전압을 가진다.
각 하위행과 관련된 변조기의 히스테리시스 창은 변조기의 기하학적 형태 및/또는 재료를 변화시킴으로써 선택<79>
될 수 있다. 특히, 작동 전압 및 해방 전압의 폭(작동 전압과 해방 전압 간의 차이), 위치(작동 전압 및 해방
전압의 절대값) 및 상대값은 변조기의 기하학적 형태 및 재료 특성을 변화시킴으로써 선택될 수 있다. 이 변화
된 특성으로는, 예를 들어, 이동 미러 지지부 간의 거리, 미러 및/또는 미러를 이동시키는 층 혹은 기구의 스프
링 상수, 두께, 인장 응력 또는 강직도(stiffness)에 대한 이동 미러와 관련된 질량, 및 정지 전극과 이동 전극
사이의 유전체 층의 유전 상수 및/또는 두께를 들 수 있다. 간섭계 변조기의 히스테리시스 특성의 선택의 더욱
상세는 미국 특허 출원 제11/193,012호(발명의 명칭 "히스테리시스 창의 선택적 조정 방법 및 장치", 출원일:
2004년 9월 27일)에 개시되어 있고, 이 출원은 본 명세서에 그의 전문이 참조 인용되어 있다.
하위행의 각각의 변조기가 서로 내부에 네스트된 히스테리시스 안정성 창을 지닌 일 실시형태에 있어서, 상기<80>
간섭계 변조기는 도 12에서처럼 배열되어 있다. 예시된 실시예에 있어서, 안정성 창들은, 도 13에 예시된 창처
럼 상부의 하위행으로부터 하부의 하위 행까지, 즉, 외부로부터 내부까지 네스트되어 있다. 도 14는 도 12의
제1행에 예시된 표시 배열을 생성하도록 이러한 일 실시예의 상부 행(제1행)에 인가된 일련의 행방향 신호 및
열방향 신호를 예시한 예시적인 타이밍 선도이다. 일반적으로, 양 전압 방식(regime)과 음 전압 방식은 도 13
에 나타낸 바와 같이 실질적으로 서로 등가이다. 본 명세서에서는 양 전압 방식을 감안해서 설명되고 예시되었
지만, 소정의 실시예에서, 간섭계 변조기는 마찬가지로 음 전압 방식으로 동작될 수도 있다. 행 펄스는 상부로
부터 하부까지의 하위행에 대응해서 왼쪽으로부터 오른쪽으로 크기가 감소한다. 펄스의 크기의 이 감소는 작동
전압이 보다 작고 해방 전압이 보다 큰 하위행 내의 이들 변조기에만 어드레스하도록 선택된다. 예를 들어, 예
시된 실시예에 있어서, 6 및 -6 볼트의 전위가 열에 인가되고, 6, 4 및 2 볼트의 행 펄스가 행에 인가된다.
도 14의 펄스는 디스플레이의 제1행의 상태를 다음과 같이 도 12에 도시된 것으로 설정한다. 제1행, 제1열의<81>
제1 라인 시간에 대해서, -6 볼트의 제1열 전위가 6 볼트의 행 펄스에 따라 인가되어 제1행, 제1열의 변조기에
대해 12볼트 차이를 생성하여, 도 14의 하부를 따라 예시된 바와 같이 작동 위치에 있어서 제1행, 제1열 하위행
의 변조기의 상태를 설정한다. 제1열 전위가 나머지 제1행 라인 시간에 대해서 -6에서 유지되어, 제1행, 제1열
하위행 내의 소자의 각각의 상태를 작동 위치로 계속 설정한다. 제2열에 있어서, 6 볼트의 제2열 전위가 제1
라인 시간에 있어서의 6볼트에서 행 펄스와 관련해서 인가되어 제1행, 제2열의 변조기에 대해 0전위차를 생성
하여, 제1행, 제2열의 하위행 내의 변조기를 모두 해방시킨다. 제1행의 제2 라인 시간 동안, -6 볼트의 제2열
전위가 4 볼트의 행 펄스와 관련해서 인가되어 제1행, 제2열의 변조기에 대해 10볼트 차를 생성하여, 제1행,
제2열의 하부의 2개의 하위행을 작동시킨다. 제1행의 제3행 시간 동안, 제2열 전위가 2 볼트의 행 펄스와 관
련해서 6 볼트가 인가되어 제1행, 제2열의 변조기에 대해 4볼트 차를 생성하여, 제1행, 제2열의 하부 하위행
내의 변조기를 해방시킨다. 제3열에 있어서, -6 볼트의 제3열 전위가 제1 라인 시간에 있어서 6 볼트에서 행
펄스와 관련해서 인가되어 제1행, 제3열의 변조기에 대해 12볼트 차를 생성하여, 제1행, 제3열의 하위행 내의
변조기를 모두 작동시킨다. 제1행의 제2 라인 시간 동안, 6 볼트의 제3열 전위가 4 볼트의 행 펄스와 관련해
서 인가되어 제1행, 제3열의 변조기에 대해 2볼트차를 생성하여, 제1행, 제3열의 하부의 2개의 하위행을 해방시
킨다. 제1행의 제3행 시간 동안, 제3열 전위가 2 볼트의 행 펄스와 관련해서 -6 볼트로 인가되어, 제1행, 제3
열의 변조기에 대해 8볼트차를 생성하여, 제1행, 제3열의 하부 하위행 내의 변조기를 작동시킨다.
도 15는 도 12에 도시된 것과 같은 디스플레이의 실시예를 갱신하는 방법(850)의 일 실시예를 나타낸 순서도이<82>
다. 상기 방법(850)은 도 2의 드라이버(22)가 하위행의 이미지 데이터 값을 수신하는 블록(852)에서 시작된다.
일 실시예에 있어서, 드라이버(22)는 프레임 버퍼로부터 데이터 값을 수신한다. 다음에, 블록(854)에서, 드라
이버(22)는 이미지 데이터 값에 상당하는 열 전위를 따라 간섭계 변조기의 모든 하위행에 행 스트로브를 인가한
다. 블록(856)으로 이동해서, 드라이버(22)는 다음의 하위행의 데이터를 수신한다. 다음에, 블록(860)에서,
블록(854), (856)의 동작이 하위행의 각각에 대해 반복된다. 일 실시예에 있어서, 블록(854), (856)의 동작은
적어도 부분적으로 동시에 일어난다.
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본 발명의 적어도 일 측면은, 양자화 레벨 간의 퍼센트 변화가 보다 낮은 강도에서 크기 때문에 양자화 가공물<83>
(quantization artifact)이 고강도 영역 내의 것보다 저강도 영역에서 사용자에게 더욱 가시화되는 것을 실현한
것이다. 예를 들어, 7-비트(2
7
= 128 양자화 레벨) 시스템에 있어서, 레벨 100에서 레벨 101로의 강도 변화는
1%이다. 대부분의 이용자는 약 4% 이하의 강도 변화를 인식할 수 없으므로, 이 양자화 레벨에서 혹은 그 이하
에서의 과도부(transition)는 원활하게 나타난다. 그러나, 레벨 10에서 레벨 11로의 변화는 10%이고, 그 강도
변화는 대부분의 사용자에 의해 용이하게 보여진다. 따라서, 낮은 강도의 양자화 레벨에서, 아날로그 데이터의
개별적으로 디지털화된 양자화 단계로의 양자화는 가공물로서 명백하게 보여진다. 이 문제에 대한 가장 직접적
인 접근법은 보다 높은 비트 밀도에서 디지털화하는 것이다. 예를 들어, 상기 강도 범위에 대해 7비트로 디지
털화하는 대신에, 주어진 신호는 해당 강도 범위에 대해 10 비트(2
10
= 1,024 양자화 레벨)로 디지털화되므로,
128-레벨 형태에서 레벨 10 부근으로 떨어지는 아날로그 양자화 레벨은 1,024 레벨 형태에서 레벨 80 부근으로
떨어진다. 레벨 80에서 레벨 81로의 과도부는 약 1.2%이고, 따라서, 이것은 사용자에게 인식되기 어렵다. 그
러나, 시스템 비트 밀도에서의 이러한 증가는 보다 큰 시스템 복잡화 및 비용을 초래할 수 있다(예를 들어, 드
라이버 접속부의 수는 3×3 7-비트 그레이스케일 디스플레이에서의 24개에서 3×3 10-비트 그레이스케일 디스플
레이에서의 33개로 약 38%만큼 증가할 것이다).
간섭계 변조기 기반 시스템에 있어서, 이들 복잡성 논점은 드라이버 집적 회로의 비용 및 복잡성 및 시스템 자<84>
체의 비용 및 복잡성에 영향을 주는 경향이 있다. 간섭계 변조기 시스템에 대한 훨씬 더 작동적인 제한과 보다
타이트한 제조 허용도에 대한 영향을 희생하여 드라이버 복잡성 및 비용을 저감시킨 복잡한 간섭계 변조기 디스
플레이의 몇몇 구동 계획 방법은 개시되어 있다. 이들 구동 계획의 다수는 또한 간섭계 변조기에 대한 추가의
어드레싱 사이클을 추가하는 것을 포함한다. 이들 추가의 사이클은 간섭계 변조기의 최대 프레임 높이 및 속도
성능을 저감시키거나 혹은 이전의 레벨의 프레임 속도를 유지하기 위해 간섭계 변조기의 추가의 기술 발전을 필
요로 하는 경향이 있다. 비록 신호 범위의 높은 강도 말기에 단차 크기를 저감시킬 필요가 없을 지라도(예를
들어, 적어도 약 30에서 31까지의 양자화 단계 이상, 이것은 단지 3.3%임), 디지털화된 신호의 전체 범위를 통
해서 양자화 단계 크기를 저감시키는 의미에서 많은 이들 해결책 및 개선점이 과잉희생되고 있다.
도 16은 컬러 간섭계 변조기 화소(160)의 일 실시예의 개략도이다. 도 16에 예시된 실시예에 있어서, 도 10의<85>
간섭계 변조기(101)는 공통 행방향 도관과 연통하도록 구성된 2개의 하위행에 배열된 2개의 간섭계 변조기
(161), (162)(또는 "표시 소자")로 구획화되거나 대체되어 있다. 도 10에 있어서, 변조기(101)는 제1열의 면적
의 약 4/7과 마주 대한다. 도 16에서와 마찬가지로 구획화되어 있는 경우, 변조기(161)는 제1열의 약 절반
(7/14)과 마주 대하고, 변조기(162)는 제1열의 약 1/14와 마주 대한다. 제1 표시 소자(161)는 제1 광학적 활성
영역을 지니고, 제2 표시 소자(162)는 제2 광학적 활성 영역을 지닌다. 소정의 실시예에 있어서, 제1 광학적
활성 영역/제2 광학적 활성 영역의 비는 정수/1(예를 들어, 7 대 1, 7:1, 7/1)과 대략 동일하다. 몇몇 실시예
에 있어서, 정수는 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9 또는 10이다. 몇몇 실시예에 있어서, 정수는 3, 7, 15, 31, 63,
127, 255 또는 임의의 수 2
n
-l이고, 이때 n은 2와 동일하거나 그 보다 큰 정수이다.
변조기(161), (162)의 양쪽 모두가 함께 구동될 경우, 화소(160)의 기능은 도 10에 개략적으로 도시된 화소<86>
(100)로부터 변화되지 않는다. 도 16은 도 10에 있어서의 변조기(101), (104) 및 (107)를 구획화하는 실시예를
나타내지만, 이러한 구획화는 또한 (예를 들어, 도 9에 도시된 변조기(91)를 구획화함으로써) 그레이스케일 디
스플레이에 대해 적합화될 수 있다
본 명세서에서 이용되는 바와 같이, 각종 실시예의 복수의 간섭계 변조기 또는 미러와 관련해서 "분할된", "구<87>
획화된" 및 "대체된"이란 용어는 보다 큰 간섭계 변조기 또는 미러가 실질적으로 작성되고 나서 보다 작은 간섭
계 변조기 또는 미러로 구획화되는 것을 필요로 하지 않는다. 대신에, 이 용어는 상기 관련된 구조를 전술한
형태와 비교하기 위해 이용된다. 예를 들어, 도 16에 있어서의 변조기(161), (162)는, 도 10에 도시된 바와 같
이 단일의 변조기(101)로서 형성되고 이어서 보다 작은 변조기로 구획화하는 것과 반대로 되도록, 전형적으로
서로 독립적으로 형성된다. 또한, 독립적인 작성은, 일부의 실시예에 있어서 전술한 바와 같이 변조기(161),
(162)의 히스테리시스 곡선의 개별적인 조정을 가능하게 하는 것이 바람직하다.
도 17은 작동 전압은 상이하지만, 해방 전압은 대략 동일한 히스테리시스 곡선 안정성 창을 가진 2개의 간섭계<88>
변조기(예를 들어, 도 16에 도시된 2개의 변조기(161), (162))의 예시적인 일 실시예를 나타내고 있는 변조기
위치 대 인가된 양 전압의 선도이다. 자취(810)는 변조기(161)의 히스테리시스 루프를 나타내고, 자취(808)는
변조기(162)의 히스테리시스 루프를 나타낸다. 소정의 실시예에 있어서, 상기 2개의 변조기(161), (162)의 해
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방 전압은 상기 각각의 해방 전압 간의 어떠한 차이도 한쪽 변조기를 선택적으로 해방시키지만 다른 쪽은 해방
시키지 않는 데 이용되지 않을 경우 서로 실질적으로 동일한 것으로 간주된다. 자취(808)로 표시된 히스테리시
스 루프는, 작동 전압이 약 9 볼트이고 해방 전압은 약 1 볼트이다. 자취(810)로 표시되는 히스테리시스 루프
는, 작동 전압이 약 15 볼트이고 해방 전압은 약 1 볼트이다. 도 17의 히스테리시스 루프의 해방 전압이 서로
이용가능하게 상이하지 않기(즉, 하나의 변조기를 신뢰성있게 해방하고 다른쪽 변조기를 해방하지 않도록 인가
될 수 있는 전압이 없기) 때문에, 도 17의 히스테리시스 루프는 본 명세서에 정의된 "네스트된"이라고 말할 수
없다.
도 18은, 해방 전압은 상이하지만 작동 전압이 대략 동일하게 되어 있는 상이한 안정성 창을 가지는 2개의 간섭<89>
계 변조기(예를 들어, 도 16에 도시된 2개의 변조기(161), (162))의 다른 예시적인 실시예를 나타내고 있는 변
조기 위치 대 인가된 양 전압의 선도이다. 자취(814)는 변조기(161)의 히스테리시스 루프를 나타내고, 자취
(812)는 변조기(162)의 히스테리시스 루프를 나타낸다. 소정의 실시예에 있어서, 2개의 변조기(161), (162)의
작동 전압은, 각각의 작동 전압 사이의 어떠한 차이도 변조기 중 한쪽을 선택적으로 작동시키고 다른쪽 변조기
를 선택적으로 작동시키기 않는 데 이용되지 않을 경우 서로 실질적으로 동일한 것으로 간주된다. 자취(812)로
표시되는 히스테리시스 루프는 작동 전압이 약 15 볼트이고 해방 전압이 약 6 볼트이다. 자취(814)로 표시되는
히스테리시스 루프는 작동 전압이 약 15 볼트이지만, 해방 전압이 약 1 볼트이다. 도 18의 히스테리시스 루프
의 작동 전압이 서로 이용가능하게 상이하지 않기(즉, 하나의 변조기를 신뢰성있게 작동하고 다른쪽 변조기를
작동하지 않도록 인가될 수 있는 전압이 없기) 때문에, 이들 히스테리시스 루프는 본 명세서에 정의된 "네스트
된"이라고 말할 수 없다.
네스트된 히스테리시스 창이 상이한 전압에서 변조기를 선택적으로 작동/선택적으로 해방하는 양쪽 모두에 이용<90>
되도록 의도되어 있는 전술한 실시예와 달리, 도 16 내지 도 18에 도시된 예시적인 실시예는 부가적인 제조 이
점을 제공한다. 도 13의 네스트된 히스테리시스 루프의 각각의 작동 전압 및 해방 전압은 서로 아주 가깝다.
예를 들어, 루프(804)의 해방 전압은 약 2 볼트이고, 루프(802)의 해방 전압은 약 4 볼트이다. 따라서, 루프
(802)로 표시되는 변조기를 선택적으로 해방시키지만 루프(804)로 표시되는 변조기를 선택적으로 해방시키지 않
도록 하기 위해서, 인가된 전압은 2 내지 4 볼트, 바람직하게는 약 3 볼트일 것이다. 이 전압 정확성은 2 볼트
및 4 볼트에서 해방되는 변조기의 제조 허용도가 충분히 정확하지 않을 경우 문제가 존재할 수 있다. 예를 들
어, 루프(802)로 표시되는 변조기가 그의 해방 전압이 3.5 볼트로 되도록 제조되고, 루프(804)로 표시되는 변조
기가 그의 해방 전압이 2.5 볼트로 되도록 제조된 경우, 인가된 전압의 허용 창은 상당히 수축될 것이다. 이
인가된 전압은 또한 변조기에의 3 볼트의 인가가 실제로 2.5 볼트에 가까운 변조기에 대한 전압차로 될 수 있도
록 제조 허용도에 따라 변화될 수도 있다. 이와 같이 해서, 루프(802)로 표시되는 변조기를 해방하기 위하여
변조기에 인가된 전압은 루프(804)로 표시되는 변조기를 부주의하게 해방시킬 수도 있다. 도 13에 표시된 3개
의 하위행의 각각에 대한 제조 허용도는, 3개의 변조기의 각각을 정확하게 차동적으로 작동/해방시키기 위해 달
성될 필요가 있는 6개의 정확한 작동 전압 및 해방 전압이 있는 것처럼 고도로 정확하게 될 필요가 있다. 이에
대해서, 도 17 또는 도 18에 있어서의 히스테리시스 루프로 표시되는 2개의 변조기는 해당 2개의 변조기를 차동
적으로 작동/해방시키도록 선 A, B 및 C로 표시되는 단지 3개의 전압만을 필요로 한다. 부가적으로, 변조기
(161)와 변조기(162) 간의 크기 차이가 크기 때문에, 작동 및/또는 해방 전압은 도 13에 나타낸 형태의 전압보
다 덜 정확하게 되므로 유리할 수 있다.
도 19는 도 10의 개략도에 의해 제공된 양자화 레벨을 개략적으로 예시하고 있다. 변조기의 어느 것도 레벨 0<91>
에서 "온" 상태가 아니고, 변조기는 모두 레벨 7에서 "온" 상태이다. 몇몇 변조기는 레벨 1 내지 6에서 "온"
상태이고, 단, 강도량은 변화된다. 낮은 강도 범위에서의 비트 밀도는 높은 강도 범위에서의 비트 밀도와 동일
하다. 예를 들어, 도 10의 화소(100)를 위해 도 20에 나타낸 바와 같이, 레벨 4 이하의 강도의 순차적인 양자
화 단계 간의 강도 차(예를 들어, 0의 강도 차)는 레벨 4 이상의 강도의 순차적인 양자화 단계 간의 강도차(예
를 들어, 1의 강도 차)와 동일하다.
도 17의 히스테리시스 곡선(810), (808)을 지닌 도 16의 2개의 변조기(161), (162)는 소정의 실시예에서는 보다<92>
높은 강도 범위에 비해서 보다 낮은 강도 범위에서 보다 높은 비트 밀도를 제공하는 데 이용된다. 예를 들어,
각 열에 의해 제공될 수 있는 레벨 0 내지 7의 수순에 있어서(예컨대, 도 20에 도시된 바와 같이), 변조기(16
1)는 레벨 4 이상에 대해서만 "온" 상태에서 작동하거나 놓일 수 있다. 따라서, 레벨 4 미만의 모든 양자화 단
계에 대해서, 변조기(161), (162)에 대한 작동 구동 전압은 변조기(162)만이 선택적으로 작동되도록 감소될 수
있다. 이 변조기(162)는 바람직하게는 변조기(164)의 미러의 절반 정도의 광학 중량을 지니는 미러를
가지므로, 변조기(162), (164), (163)는 각각 1:2:4의 비율로 중량을 지니며, 도 21에 예시된 바와 같이 양자화
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레벨 4 이하의 8개의 양자화 단계를 생성하는 데 이용될 수 있다. 레벨 4 이하의 양자화 단계는 도 22에 예시
되어 있다. 마찬가지로, 도 18의 히스테리시스 곡선(814), (812)를 지닌 도 16의 2개의 변조기(161), (162)는,
다른 소정의 실시예에 있어서, 보다 높은 강도 범위에 비해서 보다 낮은 강도 범위에서 보다 높은 비트 밀도를
제공하는 데 이용된다.
도 16을 재차 참조하면, 미러(164), (163), (162), (161)가 각각 2:4:1:7의 비로 화소와 마주 대할 경우, 순차<93>
적인 양자화 단계의 수는 표시 강도 범위의 하부에서 두배 이상이고, 상기 강도 범위의 하부는 대부분 보다 미
세한 양자화를 필요로 하는 양자화 범위의 일부이다. 예를 들어, 도 20 및 도 22를 비교하면, 도 22에 있어서
레벨 4 이하의 강도에 대해서 순차적인 양자화 단계의 수(예를 들어, 8)는 도 20 또는 도 22에 있어서의 레벨 4
이상의 강도에 대해서 순차적인 양자화 단계의 수(예를 들어, 3)의 2배 이상이다. 즉, 도 19 및 도 20에 나타
낸 바와 같이, 7개의 양자화 단계(이중 4개가 제4 양자화 레벨 이하임)를 달성하기 위해 3개의 변조기를 작동/
해방시키기 보다는 오히려, 도 21 및 도 22에 나타낸 바와 같이, 11개의 양자화 단계(이중 8개가 제4 양자화 레
벨 이하임)를 제공하도록 4개의 변조기를 작동/해방시킨다. 본 명세서에서 이용되는 바와 같이, "양자화 단
계"란 용어는 하나의 양의 강도로부터 다음 양의 강도로의 변화를 의미하며, "양자화 레벨"이란 용어는 하나의
비트 깊이로부터 다음 비트 깊이로의 변화를 의미한다. 예를 들어, 도 21의 상부 열에 있어서의 하나의 변조기
로부터 다음 변조기로의 강도 변화는 양자화 단계이지만, 양자화 레벨은 아니며, 한편, 도 21의 하부 행에 있어
서의 하나의 변조기로부터 다음 변조기로의 강도 변화는 양자화 단계와 양자화 레벨의 양쪽 모두이다. 그 효과
는 3-비트보다 큰 비트 심도에서 훨씬 더 현저한 것임을 인식할 수 있을 것이다.
도 23은 컬러 간섭계 변조기 화소(230)의 일 실시예의 개략도이다. 도 23은 도 10에 있어서의 변조기(102),<94>
(105), (108)를 구획화하는 일 실시예를 나타내지만, 이러한 구획화는 (예를 들어, 도 9에 나타낸 변조기(92)를
구획화함으로써) 그레이스케일 디스플레이에 대해서 적합할 수도 있다. 도 23에 예시된 실시예에 있어서, 변조
기(104)는 공통 행방향 도관과 연통하도록 구성된 하위행에 배열된 2개의 변조기(232), (233)(또는 "표시 소
자")로 분할되어 있다. 도 10에 있어서, 변조기(102)는 제1열의 면적의 약 2/7과 마주 대한다. 도 23에 있어
서와 마찬가지로 구획화된 경우, 변조기(232)는 제1열의 약 3/14와 마주 대하고, 변조기(233)는 제1열의 약
1/14와 마주 대한다. 변조기(232), (233)가 양쪽 모두 함께 구동될 경우, 화소(200)의 기능은 도 10에 개략적
으로 도시된 화소(100)로부터 변하지 않는다. 변조기(232), (233)의 히스테리시스 루프는 도 17 및 도 18에서
표시된 바와 같이 공통 작동 전압 혹은 공통 해방 전압을 공유할 수 있다.
변조기(234), (233), (232), (231)가 각각 2:1:3:8의 비율로 화소와 마주 대할 경우, 순차적인 양자화 단계의<95>
수(예를 들어, 2)는 디스플레이 양자화 범위의 레벨 2 이하의 2배로 되고, 상기 범위는 대부분 보다 미세한 양
자화를 필요로 하는 양자화 범위의 부분의 일부이다. 도 21 및 도 22에 도시된 바와 같이, 11개의 양자화 단계
(그 중 8개는 제4 양자화 레벨 이하임)를 제공하도록 4개의 변조기를 작동/해방시키기 보다는 오히려, 도 24 및
도 25에 도시된 바와 같이 11개의 양자화 단계(그 중 6개는 제4 양자화 레벨 이하임)를 제공하도록 4개의 변조
기를 작동/해방시킨다. 도 16에 예시된 개략도는 레벨 2와 레벨 4 사이에 보다 미세한 양자화 단계를 제공하기
때문에, 도 10의 미러(101)를 구획화하는 것이 도 10의 미러(104)를 구획하는 것보다 바람직하다.
더욱 미세한 양자화는, 도 26에 있어서의 개략도로 표시된 바와 같이, 도 10에 나타낸 미러(101)와 미러(104)를<96>
양쪽 모두 구획화함으로써 작성될 수 있다. 도 27 및 도 28에 나타낸 바와 같이, 이러한 개략도는 17개의 양자
화 단계로 되며, 그 중 12개는 제4 양자화 레벨 이하로 된다. "양자화 단계"와 "양자화 레벨" 간의 차이의 다
른 예에 대해서, 도 27의 상부 행의 왼쪽에서 두번째 변조기로부터 도 27의 상부 행의 왼쪽에서 세번째 변조기
까지의 강도 변화가 양자화 단계이지만, 도 27의 상부 행에서 왼쪽에서 첫번째 변조기로부터 도 27의 상부 행의
왼쪽에서 다섯번째 변조기까지의 강도 변화가 양자화 레벨이다.
더욱 더 미세한 양자화는, 도 29의 개략도에 예시된 바와 같이, 도 10에서의 3개의 미러(101), (104), (107)를<97>
모두 구획화함으로써 달성된다. 도 30에 나타낸 바와 같이, 이러한 구성은 26개의 양자화 단계로 되고, 그 중
18개는 제4 양자화 레벨 이하이다. 따라서, 단지 6개만을 모두 유지하면서 컬러 화소로 되지만, 양자화 단계의
수는 7에서 26까지 유리하게 증가하고, 이중 대다수는 대부분 보다 미세한 양자화를 필요로 하는 낮은 강도의
영역에 있게 된다. 이 구성은, 드라이버 IC로부터 어드레스 라인의 수를 증가시키는 일없이, 낮은 강도에서 이
간되어 있는 양자화 레벨을 극적으로 감소시키고, 이 표시 범위는 대부분 필요로 된다.
이상 각종 구체적인 실시예가 설명되어 있다. 본 발명은 이들 구체적인 실시예를 참조해서 설명되었지만, 그<98>
설명은 본 발명을 예시하기 위해 의도된 것일 뿐, 제한하기 위해 의도된 것은 아니다. 당업자라면 첨부된 청구
의 범위 내에 정의된 바와 같은 본 발명의 진정한 범위로부터 벗어나는 일없이 각종 변경 및 응용을 행할 수 있
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다.
도면의 간단한 설명
도 1은 제1간섭계 변조기의 이동(movable) 반사층이 이완 위치에 있고, 제2간섭계 변조기의 이동 반사층이 작동<9>
위치에 있는 간섭계 변조기 디스플레이의 일 실시예의 일부를 나타낸 등각 투상도;
도 2는 3×3 간섭계 변조기 디스플레이를 내장한 전자 장치의 일 실시예를 예시한 시스템 블록도;<10>
도 3은 도 1의 간섭계 변조기의 예시적인 일 실시예에 대해 이동 미러(movable mirror)의 위치 대 인가된 전압<11>
을 나타낸 선도;
도 4는 간섭계 변조기 디스플레이를 구동하는 데 사용될 수 있는 1세트의 행방향(row) 전압 및 열방향(column)<12>
전압을 나타낸 도면;
도 5a는 도 2의 3×3 간섭계 변조기 디스플레이에 있어서의 표시 데이터의 하나의 예시적인 프레임을 예시한 도<13>
면;
도 5b는 도 5a의 프레임을 기록하는(write) 데 이용될 수 있는 행방향 신호 및 열방향 신호의 하나의 예시적인<14>
타이밍 선도를 나타낸 도면;
도 6a 및 도 6b는 복수개의 간섭계 변조기를 포함하는 비쥬얼 표시 장치(visual display device)의 일 실시예를<15>
나타낸 시스템 블록도;
도 7a는 도 1의 장치의 단면도;<16>
도 7b는 간섭계 변조기의 대안적인 실시예의 단면도;<17>
도 7c는 간섭계 변조기의 다른 대안적인 실시예의 단면도;<18>
도 7d는 간섭계 변조기의 또 다른 대안적인 실시예의 단면도;<19>
도 7e는 간섭계 변조기의 추가의 대안적인 실시예의 단면도;<20>
도 8은 흑백(monochrome) 간섭계 변조기의 일 실시예의 개략도;<21>
도 9는 그레이스케일(grayscale) 간섭계 변조기의 일 실시예의 개략도;<22>
도 10은 컬러 간섭계 변조기의 일 실시예의 개략도;<23>
도 11은 각 행이 3개의 하위행(subrow)으로 더욱 나뉘어 있는 것인 간섭계 변조기의 일 실시예의 개략도;<24>
도 12는 각 행이 3개의 하위행으로 더욱 나뉘어 있고 이들은 공통 행 드라이버 접속부와 연통하도록 구성된 것<25>
인 간섭계 변조기의 일 실시예의 개략도;
도 13은 네스트된(nested) 안정성 창(stability windows)을 지니는 3개의 간섭계 변조기의 예시적인 일 실시예<26>
를 나타낸 이동 미러 위치 대 인가된 양 및 음 전압의 선도;
도 14는 예시된 표시 배열을 생성하도록 도 12의 어레이의 실시예의 상부 행에 인가된 일련의 행 및 열 방향 신<27>
호를 나타낸 타이밍 선도;
도 15는 간섭계 변조기 어레이를 구동하는 방법의 일 실시예를 나타낸 순서도;<28>
도 16은 각 행이 4개의 하위행으로 더욱 나뉘어 있고, 그 중 2개의 하위행은 공통 행 드라이버 접속부와 연통하<29>
도록 구성되어 있는 간섭계 변조기의 일 실시예의 개략도;
도 17은 해방 전압은 대략 동일하지만 작동 전압은 상이하게 되어 있는 상이한 안정성 창을 지닌 2개의 간섭계<30>
변조기의 예시적인 일 실시예를 나타낸 이동 미러 위치 대 인가된 양 전압의 선도;
도 18은 해방 전압은 상이하지만 작동 전압은 대략 동일하게 되어 있는 상이한 안정성 창을 지닌 2개의 간섭계<31>
변조기의 예시적인 일 실시예를 나타낸 이동 미러 위치 대 인가된 양 전압의 선도;
도 19는 도 10의 개략도에 의해 제공된 양자화 단계와 양자화 레벨을 개략적으로 예시한 도면;<32>
도 20은 도 10의 개략도에 의해 제공된 양자화 단계와 양자화 레벨을 예시한 차트;<33>
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도 21은 도 10의 개략도에 의해 제공된 양자화 단계와 양자화 레벨을 개략적으로 예시한 도면;<34>
도 22는 도 16의 개략도에 의해 제공된 양자화 단계와 양자화 레벨을 예시한 차트;<35>
도 23은 각 행이 4개의 하위행으로 더욱 나뉘어 있고, 그 중 2개의 행은 공통 행 드라이버 접속부와 연통하도록<36>
구성되어 있는 간섭계 변조기의 다른 실시예의 개략도;
도 24는 도 23의 개략도에 의해 제공된 양자화 단계와 양자화 레벨을 개략적으로 예시한 도면;<37>
도 25는 도 23의 개략도에 의해 제공된 양자화 단계와 양자화 레벨을 예시한 차트;<38>
도 26은 각 행이 5개의 하위행으로 더욱 나뉘어 있고, 그 중 2개의 하위행은 하나의 공통 행 드라이버 접속부와<39>
연통하도록 구성되어 있으며, 2개의 다른 하위행은 다른 공통 행 드라이버 접속부와 연통하도록 구성되어 있는
간섭계 변조기의 일 실시예의 개략도;
도 27은 도 26의 개략도에 의해 제공된 양자화 단계와 양자화 레벨을 개략적으로 예시한 도면;<40>
도 28은 도 26의 개략도에 의해 제공된 양자화 단계와 양자화 레벨을 예시한 차트;<41>
도 29는 각 행이 6개의 하위행으로 더욱 나뉘어 있고, 그 중 2개의 하위행은 하나의 공통 행 드라이버 접속부와<42>
연통하도록 구성되어 있으며, 2개의 다른 하위행은 다른 공통 행 드라이버 접속부와 연통하도록 구성되어 있고,
나머지 2개의 하위행은 또 다른 공통 행 드라이버 접속부와 연통하도록 구성되어 있는 간섭계 변조기의 일 실시
예의 부분 개략도;
도 30은 도 29의 개략도에 의해 제공된 양자화 단계와 양자화 레벨을 개략적으로 예시한 도면.<43>
도면
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도면2
도면3
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도면4
도면5a
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도면5b
도면6a
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도면6b
도면7a
도면7b
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도면7c
도면7d
도면7e
도면8
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도면9
도면10
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도면11
도면12
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도면13
도면14
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