프루브 유닛 및 작업대 평탄도 검사 장치

(19) 대한민국특허청(KR)
(12) 공개실용신안공보(U)
(51) Int. Cl.
6
G01B 5/28
(11) 공개번호 실1999-0014755
(43) 공개일자 1999년05월06일
(21) 출원번호 20-1997-0027964
(22) 출원일자 1997년10월09일
(71) 출원인 삼성전자 주식회사 윤종용
경기도 수원시 팔달구 매탄3동 416
(72) 고안자 이육래
충청남도 천안시 쌍용동 한라동백아파트 106동 506호
(74) 대리인 김원호, 최현석
심사청구 : 없음
(54) 프루브 유닛 및 작업대 평탄도 검사 장치
요약
이 고안은 프루브 유닛 및 작업대 평탄도 검사 장치에 관한 것으로서, 평평한 사각형 판(70)과; 상기 사
각형 판(70)의 네 모서리 위에 설치되고, 높이를 측정하는 높이 측정 장치(60)가 삽입되는 구멍(80, 90,
100, 110)이 형성되어 있는 지지부(20, 30, 40, 50)를 포함하며, 프루브 유닛 및 작업대의 평탄도를 쉽
게 검사하여 프루브 유닛 및 작업대를 평탄하게 위치시킴으로서, 글래스 기판의 시험을 정확하게 하도록
한다.
대표도
도2
명세서
도면의 간단한 설명
도 1은 일반적인 프루브 유닛과 작업대의 위치를 도시한 도면이고,
도 2는 이 고안의 실시예에 따른 프루브 유닛 및 작업대 평탄도 검사 장치가 프루브 유닛 위에 놓여 있
는 것을 도시한 도면이고,
도 3은 이 고안의 실시예에 따른 프루브 유닛 및 작업대 평탄도 검사 장치의 A부분의 확대도이다.
고안의 상세한 설명
고안의 목적
고안이 속하는 기술 및 그 분야의 종래기술
이 고안은 프루브 유닛(probe unit) 및 작업대 평탄도 검사 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게 말하
자면 박막 트랜지스터 기판의 특성을 검사하기 위한 프루브 유닛 및 작업대의 평탄도를 검사하는 장치에
관한 것이다.
일반적으로, 박막 트랜지스터 액정 표시 장치의 제조 공정은 박막 트랜지스터를 형성하는 어레이(array)
제조 공정과, 박막 트랜지스터 어레이 기판과 칼라 필터(color filter) 기판 사이에 액정 재료를 봉입해
넣는 셀(cell) 제조 공정과, 박막 트랜지스터 어레이 및 셀 기판을 구동시키기 위해 구동 전기 회로를
탑재하는 모듈(module) 제조 공정으로 구분할 수가 있다.
이 중, 어레이 제조 공정에서 제조된 어레이 기판의 박막 트랜지스터의 특성을 검사하기 위해서는 특수
한 장비가 필요한데 이것이 어레이 테스터(tester)이다.
이러한 어레이 테스터는 박막 트랜지스터의 ITO(Indium Titan Oxide) 전극을 온(on)시켜서 이에 가해지
는 전기장의 세기를 이용하여 박막 트랜지스터의 정상 여부를 판정한다.
박막 트랜지스터 어레이 테스터는 보통 본체와 제어 컴퓨터 그리고 오토 로더(auto loader) 등으로 이루
어진다.
여기에서, 글래스 기판의 전극을 온시켜 주기 위해 글래스 기판에 접촉되는 테스터 어레이의 부분이 바
로 프루브 유닛이고, 이 때 글래스 기판은 작업대 위에 놓여진다.
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공개실용신안실1999-0014755
글래스 기판이 작업대 위로 이동하여 고정될 때, 작업대 및 프루브 유닛이 평탄하게 놓여지지 않을 경우
기판 검사에 오류가 발생하게 된다.
이러한 프루브 유닛 및 작업대의 평탄도는 검사할 수 있는 방법이 없어 글래스 기판 검사 오류시 프루브
유닛 및 작업대의 평탄도 잘못으로 인한 오류인지를 확인할 수가 없다.
도 1은 일반적인 프루브 유닛과 작업대의 위치를 도시한 도면이다.
도 1에 도시되어 있듯이, 프루브 유닛(1)은 작업대(3) 위에 놓여지고, 작업대(3) 또는 프루브 유닛(1)이
평평하게 놓여지지 않아서 프루브 유닛(1)과 작업대(3)가 일정 각도(θ°)의 차이로 놓여진다.
이와 같이 프루브 유닛(1) 또는 작업대(3)가 평탄하게 놓여지지 않았을 경우 글래스 기판의 시험 오류가
발생한다.
고안이 이루고자하는 기술적 과제
따라서, 이 고안의 목적은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 프루브 유닛 및 작업대의
평탄도를 검사하여 프루브 유닛 및 작업대를 평탄하게 위치시킴으로서, 글래스 기판의 시험을 정확하게
하도록 하는 프루브 유닛 및 작업대 평탄도 검사 장치를 제공하는데 있다.
고안의 구성 및 작용
상기한 목적을 달성하기 위한 수단으로써 이 고안은,
평평한 사각형 판과;
상기 사각형 판의 네 모서리 위에 설치되고, 높이 측정 장치가 삽입되는 구멍이 형성되어 있는 지지부를
포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 이 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자가 이 고안을 용이하게 실시할 수 있는 바람
직한 실시예를 첨부된 도면을 참조로 하여 상세히 설명한다.
도 2는 이 고안의 실시예에 따른 프루브 유닛 및 작업대 평탄도 검사 장치가 프루브 유닛 위에 놓여 있
는 것을 도시한 도면이고, 도 3은 그 장치의 A부분의 확대도이다.
도 2 및 도 3에 도시되어 있듯이, 이 고안의 실시예에 따른 프루브 유닛 및 작업대 평탄도 검사 장치는
평평한 사각형 판(70)과; 사각형 판(70)의 네 모서리위에 각각 설치되어 있는 지지부(20, 30, 40, 50)를
포함한다.
이 고안의 실시예에 따른 지지부(20, 30, 40, 50)에는 높이 측정 장치(60)가 삽입되어 고정되는
구멍(80, 90, 100, 110)이 형성되어 있다.
상기한 구성에 의한, 이 고안의 실시예에 따른 프루브 유닛 및 작업대 평탄도 검사 장치의 작용은 다음
과 같다.
먼저, 작업대(도시되지 않음) 위에 글래스 기판을 검사하기 위하여 프루브 유닛(10)이 위치한다.
다음에, 프루브 유닛(10) 위에 사각형 판(70)을 올려놓는다.
이 때, 사각형 판(70)의 지지부(20, 30, 40, 50)에는 구멍(80, 90, 100, 110)이 형성되어 있으므로, 이
구멍(80, 90, 100, 110)에 4개의 높이 측정 장치(60)를 각각 삽입하여 고정시킨다.
다음에, 4개의 높이 측정 장치의 눈금을 0점 조정한다.
작업대의 높이를 위 또는 아래로 일정 높이로 이동시킨다.
예를 들어 작업대를 10cm 위로 올려서 프루브의 위치도 10cm 위로 올라가도록 한다.
이 때, 지지부(20, 30, 40, 50)에 각각 설치된 높이 측정 장치(60)의 눈금이 10cm로 표시되는지를 검사
한다.
만일, 높이 측정 장치(60)의 눈금이 4개 모두 10cm 만큼의 이동량을 나타내면 프루브 유닛(10) 및 작업
대는 평탄하게 놓여 있는 것이고, 높이 측정 장치(60) 중 어느 하나라도 10cm에 해당하는 눈금을 표시하
지 않으면 그 쪽 부분이 평탄하게 되어 있지 않기 때문에 그 부분의 높이를 조정하여 높이 측정
장치(60)의 눈금이 10cm가 되도록 한다.
고안의 효과
이상에서와 같이 이 고안의 실시예에서, 프루브 유닛 및 작업대의 평탄도를 쉽게 검사하여 프루브 유닛
및 작업대를 평탄하게 위치시킴으로서, 글래스 기판의 시험을 정확하게 하도록 하는 프루브 유닛 및 작
업대 평탄도 검사 장치를 제공할 수 있다.
(57) 청구의 범위
청구항 1
평평한 사각형 판(70)과;
상기 사각형 판(70)의 네 모서리위에 설치되고, 높이를 측정하는 높이 측정 장치(60)가 삽입되는
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구멍(80, 90, 100, 110)이 형성되어 있는 지지부(20, 30, 40, 50)를 포함하는 프루브 유닛 및 작업대 평
탄도 검사 장치.
도면
도면1
도면2
도면3
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